光电子器件综合设计
-------器件仿真
本讲主要内容
? 器件结构 ? 材料特性 ? 物理模型 ? 计算方法
? 特性获取和分析
2
00:13 Silvaco器件仿真流程
学习 3
器件结构
? 怎样得到器件的结构?
1、工艺生成 2、ATLAS描述 3、DevEdit编辑
? 需要注意的情况 除了精确定义尺寸外
也需特别注意网格 电极的定义(器件仿真上的短接和悬空) 金属材料的默认特性
光电子器件综合设计
-------器件仿真
本讲主要内容
? 器件结构 ? 材料特性 ? 物理模型 ? 计算方法
? 特性获取和分析
2
00:13 Silvaco器件仿真流程
学习 3
器件结构
? 怎样得到器件的结构?
1、工艺生成 2、ATLAS描述 3、DevEdit编辑
? 需要注意的情况 除了精确定义尺寸外
也需特别注意网格 电极的定义(器件仿真上的短接和悬空) 金属材料的默认特性