洁净室内排风系统的风管、调节阀和止回阀等附件的制作材料和涂料，应根据排除气体的性质及其所处的空气环境条件确定。
第5．6．4条 在中效和高效的空气过滤器前后，应设置测压孔。在新风管和送回风总管以及需要调节风量的支管上，应设置风量测定孔。 第5．6．5条 排除腐蚀性气体的风管，可采用塑料风管。其他风管以及风管的保温和消声材料及其粘结刑，应采用非燃烧材料或难燃烧材料。
第六章 给水排水 第一节 一般规范
第6．1．1条 洁净厂房内的给水排水干管，应敷设在技术夹层、技术竖井、地沟管槽内或地下埋设。
洁净室内应少敷设管道。引入洁净室的支管宜明敷，但对空气洁净度等级要求高的洁净室可暗敷。
第6．1．2条 洁净厂房内的管道外表面，如可能结露，应采取防结露措施。
第6．1．3条 管道穿过洁净室顶棚、墙壁和楼板处应设套管。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。
第5．1．4条 管道不宜穿过防火墙。如必须穿过时，穿墙管及其套管应为非燃烧体管材。
第二节 给水
第6．2．1条 洁净厂房内的给水系统设计，应根据生产、生活和消防等各项用水对水质、水温、水压和水量的要求，分别设置直流、循环或重复利用的给水系统。高纯水系统应设置循环管道。 第6．2．2条 管材的选择，应符合下列要求：
一、纯水管、高纯水管应采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不锈钢管； 二、冷却循环给水和回水管宜采用镀锌钢管； 三、生产用水设备与管道的连接宜采用优质软管； 四、管道的配件应采用相应的材料。
第6．2．3条 洁净厂房内可设置开水供应设施；盥洗室内的盥洗盆宜供应热水；软化水、纯水管适应预留清洗口；纯水终端净化装置应放在靠近用水点处。
第6．2．4条 洁净厂房的周围，应设置洒水设施。
第三节 排水
第6．3．1条 洁净厂房的排水系统设计，应根据生产排出的废水性质、浓度、水量等特点确定排水系统，并应有废水处理或综合利用设施。 第6．3．2条 洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备，必须在其排出口以下部位设水封装置，并应有防止水封被破坏的设施。 第6．3．3条 100级、1000级洁净室内，不宜设置地漏；如必须设置时，应采用有盖地漏，并不应设排水沟。10，000、100，000级洁净室内允许穿过排水竖管，但在竖管上不得设置检查口。
第6．3．4条 洁净厂房内应采用不易积存污物、易于清扫的卫生器具、管材、管架及其附件。
第四节 消防设施
第6．4．1条 洁净厂房应根据生产的火灾危险性分类和建筑物耐火等级等因素确定消防设施。
第6．4．2条 洁净厂房室内消火栓给水系统的消防用水量不应小于10升／秒，每股水量不应少于5升／秒；
第6．4．3条 洁净厂房的消火栓设置，应符合下列要求： 一、消火栓的水枪充实水柱，不应小于10米。
二、消火栓的栓口直径应为65毫米，配备的水带长度不应超过25米，水枪喷嘴口径不应小于19毫米。
第6．4．4条 洁净室及其技术夹道和技术夹层内，均宜同时设置卤代烷或二氧化碳等灭火设施和消防给水系统。对设有贵重设备仪器或生产的火灾危险性较大的洁净室，以及当火灾发生时消防人员难以进入扑救的技术夹层和技术夹道等部位，应同时设置卤代烷或二氧化碳等固定灭火装置和消防给水系统。
第七章 工业气体管道 第一节 通常规定
第7．1．1条 工业气体管道的干管，应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢气和氧气管道宜明敷；如敷设在技术夹层、技术夹道内时，应采取良好的通风措施。引入洁净室的支管宜明敷。 第7．1．2条 高纯气体管道设计，应附合下列要求 一、根据计算确定管径； 二、管道系统应尽量短； 三、不宜设预留口；
四、不应出现“盲管”等不易吹除的部位； 五、干管和支管上应设置吹除口；