B.8与B.9。
4.2.7 静电和离子发生器检测
这些检测旨在评估物体上的静电电压、材料的静电耗散特性，在洁净室设施中进行静电控制所使用的离子发生器（即电离器）的性能。静电检测旨在评估工作表面和产品表面的静电电压，地面、工作台顶部的静电耗散特性等。离子发生器检测旨在评估离子发生器消除表面静电的性能。检测方法见B.10。
4.2.8 粒子沉降检测
粒子沉降检测旨在测量从各个方向沉降在表面上的粒子的数量（数量或质量）或效果（光散射或区域复盖）。B.11给出了这项检测的一些方法。 4.2.9 自净时间
进行自净时间检测旨在测定洁净室设施短时间暴露于空气悬浮粒子源后，是否能够在有限的时间内恢复到规定的洁净度级别。对单向流设施不推荐这项检测。其检测方法见B.12。
注：使用人工气溶胶时，应避免其残留物对洁净室设施的污染。
4.2.10 隔离检漏
这项检测旨在测定是否有未经过滤的空气通过接合部、缝隙、门道和加压天花板从洁净室或洁净区外侵入封闭的洁净室或洁净区。其检测方法见B.13。
5 检测报告
每项检测结果应记录在检测报告中。检测报告应包含下述信息：
a) 检测单位的名称与地址及检测日期；
b) 本部分ISO 14644的编号与出版年代，即ISO 14644-3:当前版的日期；
c) 所测洁净室或洁净区实际地点的明确标识（必要时参照毗邻区域），及所有采样点
的座标；
d) 规定洁净室或洁净区适用的标准，包括ISO级别、相关的占用状态和所指定的粒径； e) 所采用的检测方法的详细说明，与检测有关的特殊条件或与规定检测方法的偏离，
及检测仪器标识及其当前的校准证书；
f) 检测结果，包括附件B的相关条款要求特别报告的数据，以及符合指定标准的说明； g) 与附件B的条款有关的、对特定检测规定的其他具体要求。
48
附件A
（资料）
各种检测项目的选择和实施顺序
A.1 概述
可以使用本部分ISO 14644所说明的检测方法，证明洁净室设施符合客户规定的性能标准，或用于定期检测。
在一定程度上可以根据洁净室设施的设计、运行状态、所要求的认证水平等因素选择检测项目。
应该由客户和建造商事先确定检测项目实施顺序，万一洁净室不符合要求，所付出的工作量是最少的。
A.2 检测目录
表A.1是检测目录与仪器目录。检测顺序的细节应由客户与建造商议定。
表A.1 洁净设施检测项目和实施顺序（建议）
选择检测 项目和排序a 检测项目 空气悬浮粒子分级计数和测量 空气悬浮微粒子计数 空气悬浮大粒子计数 空气悬浮大粒子的采集与计数 空气悬浮大粒子计数（无采集） 气流 单向流设施的风速测量 检测方法 选择检参照条款 测仪器b B.1 49
检测仪器 离散粒子计数器（DPC） 检测仪器 参照条款 C.1 备注 B.2 B.3 B.3.3.2 B.3.3.3 B.4 B.4.2.2 和B.4.3 C.2.1 凝聚核计数器（CNC） C.2.2 离散粒子计数器（DPC） C.2.3 粒径限制器 C.3 C.3.1 显微镜观测采样滤纸 C.3.2 串级撞击器 C.3.3 离散粒子计数器（DPC） C.3.4 飞行时间粒子测量仪 C.4 C.4.1.1 热风速计 超声波风速计（3维或相当3维） C.4.1.2 C.4.1.3 叶片风速计
非单向流设施的送风风速测量 过滤器下风向总风量测量 B.4.3.3 B.4.3.2 送风管风量测量 B.4.2.5 压差测量 过滤器安装后检漏 B.5 B.6 过滤器系统安装后检漏扫描 B.6.2和B.6.3 安装在风管或空气处理机组上的过滤器之检测 B.6.4 气流方向和目检 B.7 B.8 B.8.2.1 温度 普通温度 综合温度 B.8.2.2 湿度 静电与离子发生器 静电 B.9 B.10 B.10.2.1 离子发生器 B.10.2.2 粒子沉降 B.11 50
皮托管与压力计 热风速计 超声波风速计（3维或相当3维） 叶片风速计 皮托管与压力计 风罩式风量计 孔板流速计 文丘里流量计 风罩式风量计 孔板流速计 文丘里流量计 皮托管与压力计 电子微压计 斜管压力计 机械式压差计 线性气溶胶光度计 对数气溶胶光度计 离散粒子计数器(DPC) 气溶胶发生器 气溶胶源物质 稀释系统 凝聚核计数器 线性气溶胶光度计 对数气溶胶光度计 离散粒子计数器(DPC) 气溶胶发生器 气溶胶物质 稀释系统 凝聚核计数器 示踪剂 热风速计 3维超声波风速计 气溶胶发生器 烟雾发生器 玻璃温度计 温度计 电阻温度计 热敏电阻 玻璃温度计 温度计 电阻温度计 热敏电阻 湿度监测器（电容式） 湿度监测器（毛发式） 露点传感器 测湿计 静电压计 高阻欧姆计 充电板监测器 静电压计 高阻欧姆计 充电板监测器 代测板 双目显微镜 粒子沉降光度计 C.4.1.4 C.4.1.1 C.4.1.2 C.4.1.3 C.4.1.4 C.4.2.1 C.4.2.2 C.4.21.3 C.4.2.1 C.4.2.2 C.4.21.3 C.4.1.4 C.5.1 C.5.2 C.5.3 C.6 C.6.1.1 C.6.1.2 C.6.2 C.6.3 C.6.4 C.6.5 C.2.1 C.6.1.1 C.6.1.2 C.6.2 C.6.3 C.6.4 C.6.5 C.2.1 C.7.1 C.7.2 C.7.3 C.7.4 C.7.4 C.8 C.8.1 C.8.2 C.8.3 C.8.4 C.8.1 C.8.2 C.8.3 C.8.4 C.9.1 C.9.2 C.9.3 C.9.4 C.10 C.10.1 C.10.2 C.10.3 C.10.1 C.10.2 C.10.3 C.11.1
自净时间 隔离检漏 B.12 B.13 离散粒子计数器法B.13.2.1 (DPC) 光度计法 B.13.2.2 表面粒子计数器 粒子发生器 离散粒子计数器 气溶胶发生器 稀释系统 离散粒子计数器(DPC) 气溶胶发生器 稀释系统 光度计 气溶胶发生器 C.11.2 C.11.3 C.12.1 C.12.2 C.12.3 C.13 C.13.1 C.13.2 C.13.3 C.13.4 C.13.2 a 检测人员可在第1列的格中按顺序为所选的检测项目编号。 b 检测人员可在第4列按所选的检测方法选择检测仪器。 附件B 检测方法
B.1 空气悬浮粒子分级计数和测量 B.1.1 原理
这是粒径为0.1 μm至5 μm之间的空气悬浮粒子浓度测量方法的详细说明。测量可在空态、静态、动态任何一种状态下进行。按照ISO 14644-1验证洁净室设施的洁净度级别，或是按照ISO 14644-2进行的定期复检，均可采用这些检测方法。B.1中采用的是IEST-G-CC1001:1999的方法。
B.1.2 检测方法 B.1.2.1 概述
采样点的数量，位置的选择，确定洁净区级别，所需数据的量均要符合ISO 14644-1要求。B.1说明了在每个采样点进行空气采样的参考方法。其他适当的、精度相当、可提供相应数据的方法，可在客户和建造商一致同意下使用。 如果没有就其他方法达成一致意见，或存在争议的情况下，应采用本附件中的参考方法。
注：在需要离散粒子计数器（DPC）检测洁净室的详细信息或需要离散式计数器标准的更多信
息的场合，可使用标准方法。
（资料）
B.1.2.2 空气悬浮粒子计数方法
在规定的采样位置放好离散粒子计数器采样管口，设定计数器流量并按照ISO 14644-1选择粒径阈值。应能在单向流区域以接近等动力方式采样选择采样管。采样管的风速与被采空气的风速之差不应超过20%。如果做不到的话，应把采样管口对着气流的主方向；在采样风速不受控制或不可预测（如非单向流）的位置上，采
51