洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法
注意 – 本部分ISO 14644的应用可能涉及有害的材料、作业和设备。本部分ISO 14644未提及所有与其使用有关的安全性问题。因此，使用本标准时，客户应负责制定适当的安全和卫生准则，及在使用前确定规程性限制的适用性。
1 范围
本部分ISO 14644规定了指定级别的空气悬浮微粒洁净度的检测方法和测定洁净室和洁净区性能特性的检测方法。这种特性检测可用在3种状态（空态、静态、动态）下的、单向流和非单向流这两种类型的洁净室和洁净区。检测方法中有检测仪器和检测方法方面的建议。如果洁净室和洁净区的类型影响到检测方法，则有其他检测方法的建议。其中的某些检测，则建议了几种不同的方法和仪器，以便适合于不同的最终使用要求。如果客户与建造商一致同意的话，可以使用本部分的ISO 14644中未包括的方法。替代方法不一定会提供等效的测量结果。
本部分ISO 14644不适用对洁净室或隔离装置内产品或工艺进行的测量。
2 引用标准
下列引用标准对本文件的使用是不可或缺的。标有日期的引用标准，只有该引用的版本适用。没标有日期的引用标准，则其最新版本的规范性文件（包括任何修正版）适用。
ISO 7726:1998， 热环境人机工程学-物理量测量仪
ISO 14644-1:1999， 洁净室及相关受控环境-第1部分：空气洁净度分级
ISO 14644-2:2000， 洁净室及相关受控环境-第2部分：证明一直符合ISO1 4644-1的检测
和监测技术条件
ISO 14644-4:2001，洁净室及相关受控环境-第4部分：设计、建造和启动
3 术语和定义
本部分ISO 14644采用的术语和定义如下。
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3.1 普通
3.1.1 洁净室 cleanroom
空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式可最大限度减少房间内进入的、产生的、滞留的粒子，房间内温度、湿度和压力等其他相关参数按要求受控。 [ISO 14644-1:1992, 2.1.1] 3.1.2 洁净区 clean zone
空气悬浮粒子浓度受控的专门空间，其建造和使用方式可最大限度减少区内进入的、产生的、滞留的粒子，区内温度、湿度和压力等其他相关参数按要求受控。
注：洁净区可以是开放式的也可以是封闭式的，可以位于或不在洁净室内。
[ISO 14644-1:1992, 2.1.2] 3.1.3 洁净室设施 installation
带有全部维护结构、空气处理系统、服务设施、公用设施的洁净室或洁净区。 [ISO 14644-1:1992, 2.1.3] 3.1.4 隔离装置 separative device
采用构造和动力学方法在确定的容积内外创建可靠隔离水平的设备。
注：某些产业用隔离装置有：层流罩（洁净工作台）、隔离密封空间、手套箱、隔离器、微环境。
3.2 空气悬浮粒子测量
3.2.1 气溶胶发生器 aerosol generator
能以加热、液压、气动、超声波音频、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当（例如0.05 μm至2 μm）的微粒物质的仪器。 3.2.2 空气悬浮粒子 airborne particle
悬浮在空气中的、粒径从1纳米到100微米的活的或非活的固态或液态粒子。
注1：针对ISO 14644-3。分级方面见2.103。 注2：摘自ISO 14644-3:2005, 3.2.2。
3.2.3 数量中径 count median particle diameter （CMD）
根据粒子数量得出的粒径中值。
注：粒径中值即一半的粒子粒径小于数量中