青岛科技大学本科毕业设计（论文）
图4-6 超声部分装配图
Figure4-6 Assemble model of ultrasonic part
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立式超声微细电化学加工机床机械系统设计
5 结论
随着微纳米技术的不断发展，微细加工技术作为实现其应用的关键技术和重要基础，得到了研究人员的广泛关注，成为当今世界各国研究机构的研究热点。
本文首先简要介绍了电解加工技术的研究和发展方向，指出伴随着制造业向微细化发展，微细电解加工正逐渐成为主流的加工手段之一，详细综述了微细电解加工技术的原理和发展方向，并介绍了课题来源和研究的目的及意义,在此基础上，对超声微细电解加工系统进行了分析，完成立式超声微细电解加工机床传动系统及机械本体的三维造型设计，具体的工作内容如下：
（1）独立设计了一双立柱结构布局的新型、实用微细电解加工机床立柱，可兼顾好的系统刚性、系统结构的紧凑性和方便的操作维护性；
（2）进给系统采用一个丝杠带动滑板的结构，实现一个旋转和直线运动的联动，拓展加工对象范围，能加工微细孔等结构；
（3）伺服进给系统采用步进电机驱动，并经谐波减速器减速，位移分辨率高，步进、启动、停止、换向性能良好；
（4）采用组合轴承座设计，可显著提高机床结构的刚性，减小主轴受外力作用时的变形；
（5）主轴进给Z轴定位精度为0.003mm，重复定位精度为0.002mm，旋转O轴圆周跳动为0.005mm，能很好地满足了微细电解加工的要求。
本文设计的立式超声微细电解加工机床机械系统总体效果图如图5-1所示。
图5-1 立式超声微细电解加工机床机械系统实体图
Figure5-1 3D model of mechanical structure of vertical ultrasonic ECM machine
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