- 光设ZEMAX - 实验讲义 - 图文

以上几种MTF,都可用于客观评价成像质量,由于计算模型不同,结果出现较小差别,但变化趋势及量值不会差别很大,使用时要注意以下概念的区别:(1)计算速度上看,FFT MTF最快,Huygens MTF和Geometric MTF速度较慢,但在初始结构像质太差(如波差PV>6λ)时,FFT MTF计算会显示出错,这很正常,此时几何传递函数仍可进行正常计算,只是传函值太低;(2)从网格采样看,FFT MTF和Geometric MTF只需对像面(或物面)空间坐标进行2”×2”网格采样,但Huygens MTF因计算模型差别,还要增加对岀瞳面网格采样,这是导致Huygens MTF计算速度变慢的主要原因;(3)FFT MTF和Huygens MTF都能计算出Surface MTF(即3D-MTF),但Geometric MTF一般只计算子午与弧矢面上MTF,不提供Surface MTF。

在使用MTF进行像质评价时,要注意以下几个方面问题:(1)对每一种镜头系统,需要物面特征、探测器像素与响应情况,确定评价时的特征频率和对比阈值,确定特征频率处的MTF值至少为多少?否则无法确定MTF曲线的好坏;截止频率(νc)跟镜头系统的F数及工作波长(λ)有关,即νc=1/Fλ;(2)察看MTF数值时,要看多色MTF在每一个视场处的子午和弧矢传函曲线,并注意选择适当的离焦量;(3)MTF值跟波像差、点列图等像质指标一样,只反映成像清晰度,不反映变形,所以要检查物像相似程度,还要再看畸变曲线。

图1.13 某一投影物镜的复色MTF曲线

ZEMAX在MTF曲线计算中,还可以绘制Through Focus MTF及MTF vs Field曲线,通过查看不同的视场、某一离焦量范围内特症频率处的传递函数值,由此可选择恰当的离焦量。

图1.13给出了某一多媒体投影物镜的复色MTF曲线。一般情况下,无须查看截止频率处的传函值,因此实际评价像质时,会选择比特征频率稍大一些的最大频率范围,对常规成像镜

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头系统,最大频率可选50/mm,或者100/mm左右。图中选择了最大频率为90/mm。 4. PSF(点扩散函数)

PSF(Point Spread Function)反映点物经过镜头系统后,因像差或衍射在像面上造成的扩散情况,横轴为像面上的线性尺度,纵轴为归一化能量分布。PSF计算模型也有FFT和Huygens两种。PSF一般使用在精细成像质量或小像差系统场合。 5. Wavefront(波像差)

也是一种评价像质的常用指标,可用于小像差光学系统和大像差光学系统,同时因有瑞利判据(波像差小于λ/4波长,镜头系统成像质量接近理想),使波像差评价像质易被量化,只是对大像差系统时,可将波像差容限取成2-4倍的瑞利标准。

波像差和视场相关,由一个视场物点发出充满入瞳面的光线,相当于一个球面波入射,经过镜头系统后,出射波面因像差的存在发生变形,表示存在波像差。因此,对于一个视场,某一波长下,计算不像差时,要对入瞳面进行网格点采样,一般采样密度为2”×2”,由光线追迹计算每一条光线到达像面时走过的光程差,一般取主波长(Primary Wavelength)主光线所走过的光程作为参考光程,相当于取主光线跟像面的交点,作为参考球面的球心,并使参考球面经过岀瞳中心。

显示波像差图时,可通过“Analysis → wavefront → Wavefront Map”给出某一个视场、某一波长下的三维波面图,如须查看其他波长、视场下的波像差图,则要使用如表1.3所示的设置。 ZEMAX对波像差还提供了Interferogram和Foucault Analysis的菜单选项,前者可以为两束光相干以干涉图表示,尤其适用于分析干涉系统,后者用于产生Foucault刀口阴影图。 6. Miscellaneous

Miscellaneous意为“其他“或“杂项”,归属那些不太重要或不入大类的功能项。Miscellaneous中放置几何像差的分析功能,按先后顺序,有细光束场曲与畸变(Field Curvature/Distortion)、轴向球差(Longitudinal Aberration)、垂轴色差(Lateral Color)。

? Field Curvature / Distortion

细光束场曲与畸变曲线之所以称为细光束场曲,是因为场曲曲线没有跟光束孔径有关。图1.14给出了1.3节例物在1000mm处初始结构的场曲与畸变,图中左边为细光束子午,弧矢场曲,如果工作波长有多个,则图中会给出每一个波长的细光束子午、弧矢场曲;右边为归一化畸变。图1.14两个曲线图的纵轴都是归一化视场,左图横轴为场曲,单位为毫米,右图横轴为百分畸变。还揭示了像散信息。

细光束场曲反映了不同视场点的细光束像点离开像面的位置变化,初级细光束场曲跟视场的平方成正比,其对成象的影响,是使一平面物体成一弯曲像面。细光束像散反映了子午和弧矢细光束像点(或子午与弧矢弯曲像面)的不重合而分开的轴向距离。

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表 1.3 Wavefront Map 对应的设置选项

选 项 Sampling Rotation Scale

含 义

选择光瞳面采样密度,得到波像差的X, Y坐标点阵 旋转波面显示的选项

显示比例选项,一般情况下不作放大与缩小,取为1,如取成小于1,则波像差高度方向被缩小,如取成大于1的数,则波像差高度方向被放大。

Wavelength

工作波长序号选项,只有单一波长序号选项,而无“All”选项,表示不能计算复色波像差。

Field

Reference to Primary

波像差对应的视场序号选项

复选框,对应于参考球面的选取,选中则表示用主波长参考球面,不选,不用主波长参考球面。对轴上物点,选与不选结果不一样,不选可体现垂轴色差的影响。

Use Exit Pupil Shape

复选框,对应于光瞳形状的选取,如果存在光瞳像差,则选与不选结果不一样,否则光瞳形状像差被消除时,选中,选与不选无差别。

Show as

波像差图的显示形式选项

图 1.14 1.3例物在1000mm处场曲与畸变曲线

畸变属于主光线像差,反映物像的相似程度,如果低于1%,则认为物像几乎完全相似。

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畸变的基本定义,是某一视场主波长时的主光线与像面交点离开理想像点的垂轴距离。实际使用时,据镜头的功用还会衍生出其他计算形式,主要有(1)标准畸变;(2)F-Theta畸变;(3)校准(calibrated)畸变。

标准畸变,采用常规的定义如

Distortion=ychief?yref?100%

yref (1.10)

其中ychief为主光线与像面的交点高度,yref为理想像高,如物在无穷远,且视场角为θ,则

yref?f?tan?,f’为镜头系统焦距。

F-Theta畸变,俗称fθ畸变,为扫描仪或傅立叶变换透镜专用的畸变形式,因为这一类

ychief?f???100% f??光学系统,要求理想像高跟视场(或扫描)角成正比,即yref?f??,此时

F?ThetaDistortion= (1.11)

Calibrated 畸变,即校准畸变或标定畸变。一般情况,yref?f?tan??f??,但可以用

yref?f??来拟和yref?f?tan?,此时得到f*,称之为最佳拟和焦距。

CalibratedDistortion=ychief?f*?f?*?100%

(1.12)

实际上,不论是应用(1.11)还是(1.12)式计算畸变,只要把每一视场的畸变校正到公差范围之内,ychief一定与扫描角或视场角θ成正比。表1.4给出场曲和畸变曲线有关的选项。

表 1.4 Field Curvature / Distortion的设置选项

选 项 Max Curvature Max Distortion Wavelength Use Dashes Distortion Do X-Scan

含 义

曲线中场曲坐标最大值设置 曲线中畸变坐标最大值设置 工作波长序号选择,可以选“All” 复选框,选中,表示用虚线

畸变计算种类选项,有Standard,F-Theta和Calibrated畸变 复选框,适用于非旋转对称系统。选中沿X方向视场计算,不选,沿Y方向视场计算。如果只定义了Y视场,则不选。

Ignore VignettingFactors

复选框,选中,则忽略渐晕因子。如轴外视场有渐晕,则不选选与不选无差别。

? Longitudinal Aberration

所有工作波长的轴向球差曲线,以Primary波长的像面为计算基准,即通常所说的球差曲线。图1.15给出了某投影透镜的轴向球差曲线。曲线左边一根是主波长的球差曲线,中间一根为C光线球差曲线。右边一根为F光球差曲线。

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