- 光设ZEMAX - 实验讲义 - 图文

μm,弧矢弥散半径近似为1300 μm。

由Ray aberration图可以看出几何像差存在时的综合弥散情况,还可以看出其他独立几

何像差的大小,如由原点处曲线的斜率可以反映轴向像差分量,诸如球差、场曲、离焦的大小,图1.9中表明目前初始结构的场曲较大;再如由曲线边缘孔径(±1.0)处的Y-aberration之和,能够反映慧差大小;如果工作波长是一光谱段,每一视场的Ray aberration曲线中每一幅图有三根曲线,反映波长序号为1,2,3的Ray aberration数据。这样Ray aberration曲线中,1,3波长的曲线与EY轴的交点之差反映垂轴色差的大小。随着视场的变化,可以清楚垂轴色差的变化。

图 1.9 前例Ray aberration曲线

如果在Ray aberration曲线窗口中,选择Setting或在任一位置,右击鼠标,将弹出设置对话框,对话框中选项的含义参见表1.2。

表1.2 例题的初始结构参数

选 项 Plot Scale

含 义

绘图比例,输入的数值用于定义纵轴半轴长度,单位:μm;数值越小,曲线被放大;数值越大,曲线被压缩,0表示正半轴最大数值自动选定。

Number of Rays Wavelength Field

子午或弧矢面主光线两侧追迹的光线数目 波长序号选项,All表示全选 视场,All表示全选

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Tangential 每一视场左边曲线纵轴像差的选项,有X-aberration和Y-aberration两种,如果选X-aberration,纵轴变为EX,否则EY

Sagital 每一视场右边曲线纵轴像差的选项,有X-aberration和Y-aberration两种,如果选X-aberration,纵轴变为EX,否则EY

Use Dashes Check apertures Vignetted Pupil

选中,曲线以黑白虚线表示

选中,则检查光线是否在每个光学面上的有效通光孔径内 选中,则横轴1.0表示轴上物点的光瞳直径,对大视场光学系统,如存在渐晕,则轴外视场的Ray aberration曲线中横轴取值会小于1.0,能够明显反映渐晕现象;如不选,横轴1.0可以表示渐晕时光瞳归一化孔径,取值从0~1.0,曲线反映不出渐晕现象。此时,0视场与轴外视场曲线中横轴1.0表示绝对孔径长度是不等的

?

Optical path

显示的光瞳归一化坐标(PX,PY)为横轴的光程差曲线,相当于一维波差曲线,纵轴为光程差,以主光线所走过的光程为基准。

?

Pupil Aberration

反映光瞳像差。表示实际主光线与光瞳面交点,离开高斯主光线与光瞳面交点的距离,一般用占光瞳半径的百分数表示,图1.10给出了1.3节例物在1000 mm处初始结构的光瞳像差曲线,由该图看出,由于物位于子午面内,在子午面内存在明显的光瞳像差,表示轴外光瞳偏心。此时,如不消除光瞳像差,会影响各种轴外像差值的精确计算,如选“System→General…→Ray Aiming→Aiming to aberration (real) stop height”,则可以很好地消除光瞳像差。

图1.10 1.3节中例在1000mm处初始结构的Pupil Aberration

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2. Stop Diagrams(几何点列图)

Ray aberration仅能反映子午、弧矢面内光线造成像的弥散情况,几何点列图则能反映任一物点发出的充满入瞳的光锥,在像面上的交点弥散情况。

几何点列图通常以主光线与像面交点为原点,进行量化计算点列图的弥散情况,ZEMAX在此基础上,还给出以虚拟的“质心”、“平均”为原点的量化点列图。

图1.11表示了1.3节例子物在1000mm处初始结构的像面点列图。使用点列图的评价像质,除了观察点列图形状外,一般还使用两个指标,即,如图1.11下方的RMS Radius与GEO Radius,单位一般仍为 μm。前者表示点列图弥散的实际几何半径。有时如仅有两根光线与像面交点散的厉害,而其他光线分布比较集中,即RMS Radius较小,而GEO Radius较大,仍认为像质比RMS Radius值较大时好一些。

过去在设计使用胶卷的照相物镜时,常用点列图进行像质评价,如果每一视场点列图的RMS Radius小于15 μm,则可认为设计中的照相物镜系统已经具有较好的像质。

图1.11中给出了三个视场的点列图情况,由点列图的图案及RMS Radius、Geo Radius值也可以估算独立几何像差大小,即可判断是什么样的像差影响点列图的渐小。如从图1.11中可以明显地看出场曲与像散是该初始结构主要存在的几何像差。

图1.11 1.3节例物在1000mm处初始结构的点列图

点列图(Spot Diagrams)的表现形式有五种:标准点列图(Standard)、离焦点列图(Through Focus)、反映视场像高的点列图(Full Field Spot Diagrams)、随视场与波长变化的点列阵图(Matrix Spot Diagrams)、随视场与多重结构变化的点列阵图(Configuration Matrix Spot Diagrams)。其

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中常用的是标准点列图。

根据像质评价技术,计算点列图时入瞳上光线的选取有以下几种方法:极径、极角划分的极坐标形式,在ZEMAX中称为hexapolar(六极);有直角坐标网格划分的方形网格(Square);ZEMAX中还提供了基于伪随机方法的颤抖式(dithered)光瞳划分方法。

如在点列图设置(Setting)中的Surface number由像面改变成其他光学面序号,此时点列图反映光线与光学面的交点分布,也反映光学面的通光情况;如将Surface number设置成光阑面序号,则此时点列图可反映光阑通光面的形状,如轴外光阑面点列图分布为椭圆形状,则表示渐晕现象,图1.12给出了这样的点列图。

图 1.12 反映渐晕现象的孔径光阑点列图

3. MTF(调制传递函数)

MTF是目前使用比较普遍的一种像质评价指标,称为调制传递函数。它既与光学系统的像差有关,又与光学系统的衍射效果有关,是光学传递函数(OTF)的模,曲线横轴表示像面上的空间频率,单位:1/mm,即每毫米多少线对,纵轴表示对这些黑白细实线物分辨的调制度。 任何一种物信息,都可以细分到点,也可以细分到线,调制传递函数(MTF)的物理意义是:应用傅立叶变换原理与光学系统相干成像理论,计算出镜头对逐渐变细的黑白线对分辨的调制度。

根据计算模型的不同,MTF分为三类:

(1) FFT MTF-基于快速傅立叶变换,先计算PSF(点扩散函数),再由PSF → MTF; (2) Huygens MTF-基于惠更斯面包络原理,先计算岀瞳面上的光瞳函数,然后把岀瞳

面细分,看成次级光源,在向像面传递;因此计算惠更斯传函时,要将出瞳面细分网格、也将像面细分网格采样;

(3) 几何MTF-基于几何点列图,转化成子午面或弧矢面上的线扩散函数,再经傅立

叶变换,得到调制传递函数。

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