图24. 泵头示意图
图25. 进、出口单向阀示意图
① 关闭淋洗液阀和ICS-1000的电源； ② 拆卸与进、出口单向阀连接的管路； ③ 拆卸进、出口单向阀； ④ 用超声波清洗单向阀几分钟；
⑤ 在主泵头下方安装进口单向阀（1/4-28接口），在主泵头上
方安装出口单向阀（10-32接口）； ⑥ 恢复管路，接通电源，排气泡。
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5.3 柱塞及密封圈的更换
图26. 主泵头结构图
① 用去离子水清洗泵头，关闭淋洗液阀和ICS-1000的电源； ② 拆除所有与泵头连接的管路；
③ 拧下固定泵头的两个螺帽小心地向外抽拉泵头使之与柱塞脱离；
④ 柱塞被磁性固定在泵头上，用户只需轻轻晃动柱塞，就能克服磁力取下柱塞；
⑤ 将泵头前端向下放在洁净的工作台上，依次取出圆形隔断（不锈钢材质）和柱塞定位器；
警告：任何横向运动都将造成柱塞断裂！
⑥ 用柱塞将柱塞定位器中间的密封圈轻轻挑出（见下图）；
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⑦ 向泵头中注满去离子水，用10-32规格的密封接头将主泵头的出口单向阀或副泵头的进、出口堵住，将柱塞插入泵头，注水后产生的反作用力使密封圈脱离泵头，套在柱塞上； ⑧ 拧松启动阀和废液阀的旋钮，安装新的密封圈；
⑨ 重新安装插入柱塞的泵头（定位器、隔断等零件已复位，柱塞尾部保留约1/4英寸的长度以确保磁铁能够将其吸住）； ⑩ 恢复管路，接通电源，排气泡。
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图27. 副泵头结构图
5.4 更换启动阀(Priming Valve)或废液阀的密封圈
图28. 启动阀和废液阀
① 关闭淋洗液阀和ICS-1000的电源；
② 反时针旋转启动阀或废液阀的旋钮直至取下； ③ 将O型圈从旋钮取下或从泵头的空腔中取出； ④ 安装新的O型圈；
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