Cleaner production assessment indicator system Integrated circuits
manufacturing industry
清洁生产评价指标体系
集成电路制造业
（标准送审稿）
编制说明
I
标准编制组 2017年4月
II
目 录
1 任务来源、起草单位、编制组成员单位与主要起草人 ........................................................... 1 2 集成电路制造业概况 ................................................................................................................... 1 2.1 集成电路制造业生产概况 .................................................................................................... 2 2.2 集成电路制造业生产工艺 .................................................................................................... 5 2.3 集成电路制造业能源与水消耗及产排污分析 .................................................................... 6 3 制定标准的必要性和意义 ........................................................................................................... 8 4 主要起草过程 ............................................................................................................................. 10 5 制定标准的原则和依据，与现行法律、法规、标准的关系 ................................................. 13 6 主要条款的说明，主要技术指标、参数、试验验证的论述 ................................................. 17 6.1 范围 ...................................................................................................................................... 17 6.2 规范性引用文件 .................................................................................................................. 17 6.3 术语和定义 .......................................................................................................................... 18 6.4 评价指标体系 ...................................................................................................................... 20 6.5 评价方法 .............................................................................................................................. 25 6.6指标解释与数据采集 ........................................................................................................... 32 7 重大意见分歧的处理依据和结果 ............................................................................................. 35 8 作为推荐性标准或者强制性标准的建议及其理由 ................................................................. 35 9 指标体系实施可行性分析 ......................................................................................................... 36 9.1 技术可行性分析 .................................................................................................................. 36 9.2 经济可行性分析 .................................................................................................................. 36 9.3 实施可行性分析 .................................................................................................................. 37 10 实施标准的措施建议 ............................................................................................................... 37 11 其他应说明的事项 ................................................................................................................... 37
III
2