光电子器件综合设计

-------器件仿真

本讲主要内容

? 器件结构 ? 材料特性 ? 物理模型 ? 计算方法

? 特性获取和分析

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00:13 Silvaco器件仿真流程

学习 3

器件结构

? 怎样得到器件的结构？

1、工艺生成 2、ATLAS描述 3、DevEdit编辑

? 需要注意的情况 除了精确定义尺寸外

也需特别注意网格 电极的定义（器件仿真上的短接和悬空） 金属材料的默认特性