第二篇 Silvaco软件使用指南

Figure 13: 初始化运行deck.

现在通过右击File... Save保存你运行的deck, 填写弹出菜单如图14.

回到deckbuil后，如图15所示。点击run. 你会遇到一个错误，说你超出了点的最大数目。即使仿真器可以处理这个点数，它也会用过长的时间来做仿真。

改变y 的spacing 为0.2, 并再次运行deck.此时将不会再有错误。

Figure 14: 保存文件

第二篇 Silvaco软件使用指南

Figure 15:初始化运行deck.

Figure 16:改变 y spacing 到 0.2.

Figure 17: 初始化Deck的输出文件.

要抽取层的薄片电阻，Commands... Extract 则一个弹出菜单如图18显示出来。

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Figure 18: Extract Pop-up.

如图19一样填空，之后点击write来写你运行的deck，如图 20 .

Figure 19: Extract Rs.

抽取名字选Sheet resistance,名字选Rs,材料为硅，温度为300K，抽取的位置为X方向x=5处。点击Write.

Figure 20:运行deck 来抽取Sheet Resistance 在X位置5um.

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运行deck，输出结果如图21.

Figure 21: Extraction Output.

注意，理论上薄片电阻为层电阻被厚度除，所以本例中薄片电阻按手工计算应为均匀的10000ohms , 而不是10497 ohms. 实际中四探针法仅可测量薄片电阻上达30 ohms/square.