第二篇 Silvaco软件使用指南

图6:建立右边界.

在Location中输入10 microns 并点击insert如图7.

图7: 完成X方向长度设定

为Y方向的网格重复同样的过程如图8,9,10：

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Figure 8: 设定上边界.

Figure 9: 设定下边界.

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Figure 10: 完成Y方向设定。

点击图10的write按钮，就把数据写入到athena中了。运行deck如图11所示.

Figure 11: 在运行的deck中完成mesh语句.

现在我们需要初始化2-D网格到半导体类型和掺杂中。在本例中, [100] 硅，每平方电阻为10 ohms. 在命令的弹出菜单上右击并选择 mesh initialize.一个菜单如图12显示.如图12来填充.

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Figure 12: 初始网格

图中所选内容是硅片方向为(100),掺杂杂质为磷，以电阻为主要的浓度考虑，阻值为10欧姆。维数为自动选择，格点缩放因子为1。点击write进行写入， 将看到所运行的deck,如图13.