第5．3．4条 当生产工艺仅要求在洁净室内局部工作区达到更高的空气洁净度时，其气流组织设计应使洁净气流首先流经该工作区，或在洁净室的不同区域形成不同气流流型和空气洁净度等级的洁净工作区，其型式可分别按图5．3．4－1、图5．3．4－2选用。

第5．3．5条 层流洁净室内不宜设置洁净工作台；乱流洁净室内可设置洁净工作台，但其位置应远离回风口。

第5．3．6条 洁净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流的下风侧。

第四节 空气净化处理

第5．4．1条 各等级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。

注：100,000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器。

第5．4．2条 确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积位置等因素。凡生产工艺连续、洁净室面积较大、位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。

第5．4．3条 净化空气调节系统设计应合理利用回风。凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求或对其他工序有危害时，则不应利用回风。

第5．4．4条 净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口渗入洁净室内的防倒灌措施。 第5．4．5条 空气过滤器的选用、布置和安装方式，应符合下列要求： 一、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器

二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段； 三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤气宜设置在净化空气调节系统末端；

四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用； 五、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内； 六、高效空气过滤器的安装方式应简便可靠，宜于检漏和更换。 第5．4．6条 送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择。中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。 第5．4．7条 净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。

第五节 采暖通风

第5．5．1条 洁净室的采暖型式，应按下列不同情况确定：

一、100级、1000级、10，000级洁净室，不应采用散热器采暖；l00，000级洁净室，不宜采用散热器采暖。

二、值班采暖可利用技术夹道的散热器进行间接采暖，或采用间歇运行净化空气调节系统、值班风机系统进行热风采暖。

第5．5．2条 散热器应采用表面光滑、不易积尘、便于清扫的型式。 第5．5．3条 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置，排风罩的操作口面积应尽量缩小。

第5．5．4条 局部排风系统在下列情况下，应单独设置： 一、非同一净化空气调节系统；

二、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性； 三、所排出的有害物毒性相差很大。

第5．5．5条 洁净室的排风系统设计，应采取下列措施： 一、防倒灌措施；

二、含有易燃、易爆物质局部排风系统的防火、防爆措施。

第5．5．6条 换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等，应采取通风措施。其室内的静压值，应低于洁净区。

第5．5．7条 洁净室事故排风系统的换气次数，应采用每小时15～20次。

事故排风装置的控制开关，应分别设在洁净室和室外便于操作的地点，并应与净化空气调节系统联锁，其室内宜设报警装置。

第六节 风管和附件

第5．6．1条 风管断面尺寸的确定，应考虑能对风管内壁进行清洁处理，并在适当位置设置密闭的清扫口。风管壁厚按附录六选用。

第5．6．2条 净化空气调节系统的新风管、回风总管，应设置密闭调节阀。

送风机的吸入口处和需要调节风量处，应设置调节阀。洁净室内的排风系统，应设置调节阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必须设置防火阀。

第5．6．3条 净化空气调节系统的风管和调节阀以及高效空气过滤器的保护网、孔板和扩散孔板等附件的制作材料和涂料，应根据输送空气的洁净要求及其所处的空气环境条件确定。