a）当观测计数（粒子）小于Ca时

如在等于或长于样本采集时间Ts内观测计数等于或小于Ca，就可确认没有渗漏。如公式（B.8）中给出的，样本采集时间Ts应等于或长于采样管通过渗漏所用的时间：

Ts ≥

DpSr （B.8）

b）当观测计数（粒子）大于Ca时

当观测计数（粒子）大于Ca时，都应按驻留时间，用采样管在渗漏位置探查。 在手动扫描时，观察DPC的显示或音频输出就能检测出潜在的渗漏。为区分可允许的和不可允许的计数，过滤器上风向气溶胶浓度应作调整，使容许的粒子计数不超过10个。

DPC的采样间隔时间应该足够长，以免受到各间隔之间复位时间的影响。

B.6.3.6.7 用静止方式再检漏

a）观测计数小于Ca（粒子）

Ts内观测到等于或小于Ca的计数，即可确认无渗漏。

b）观测计数大于Ca（粒子）

如果观测计数大于Ca，应考虑以静止方式再测量。如果观测计数仍大于Ca，应认为过滤器有渗漏。

B.6.3.7 对非标准流量的修正

标准渗漏的透过率PL是按标准样本流量定义的：qvs = 472 cm3/s（28.3 l/min）。与正常过滤器介质的粒子计数不同的是，渗漏的粒子计数与实际的样本流量qva（cm3/s）无关。当采用非标准样本流量时，可以把公式改为：

Sr??Cc?PL?Ps?qvs?Cc?Ps?qva?DpNp （B.9）

Npa??Cc?PL?Ps?qvs?Cc?Ps?qva?Tr （B.10）

B.6.3.8 评估应用的实例

一个评估步骤的应用实例见图B.3。

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扫描前预备性计算 qva = qvs = 472 cm3/s 过滤器 待测过滤器最大允许透过率 Ps = 1×10-4 采样量与扫描方向平行的探头尺寸Dp = 2 [cm] 上风向 上风向浓度 Cc = 30 [粒子个数/ cm3] DPC相关参数 如果假计数不可不计，可允许观测计数 Ca = 1 [个粒子数] 驻留时间 Tr = 6 [s] 基于表B.1的系数 K = 10 待测过滤器标准渗漏透过率 PL = K × Ps =10-3 表明有规定渗漏时的预期粒子计数。依据表B.2， Np =5.6 [粒子数] 69

a) 扫描 采样管扫描率 [cm/s] b) 静止方式再次测量 静止再次测量用实际计数Npa [粒子个数]， Npa = Cc × PL × qvs × Tr -3= 30 × 10 × 472 × 6 = 85 [cm/s] Sr ? Cc × PL × qvs × (Dp/Np) -3= 30 × 10 × 472 × 2/5.6 = 5.1 (cm/s) 样本采集时间Ts [s] Ts ? （Dp/Sr）=（2/5.1）= 0.4 [s] 可允许的观测计数Ca [粒子个数] 6 [s] 内 Ca = Npa-2npa= 85-2 85= 67 [粒子个数] 检测和评估方法

a）用扫描法检测潜在的渗漏

如果短期内（? 0.4[s]）增加了2个或2个以上的计数，应该把采样管置于渗漏位置，以静止不动的方式进行再次测量。

如果计数没有增加，应该认为扫描区内没有渗漏。

b）以静止方式进行再次检漏

在驻留时间Tr = 6 [s]，如果观测到的计数少于Ca = 67（个粒子），应该考虑该位置上没有渗漏。 在驻留时间内，如果观测到的计数持续超过Ca，应认为有渗漏。

图B.3 评估方法流程图

B.6.4 安装在管道或空气处理机（AHU）上的过滤器的整体检漏

这个方法可用于安装在管道上的过滤器的整体渗漏的评估。该方法也可用于多级过滤器的整体渗漏的评估，而无需对各级进行单独检测。对于处在洁净室设施中非单向流区域的终端过滤器，也可以使用这些检测。这个方法比B.6.2和B.6.3中说明的检漏方法的灵敏度低得多。

进行这项检测时，从过滤器的上风向引入检测气溶胶（该过滤器距洁净室有一定距离）。然后测量管道中或空气处理机中过滤了的空气中的粒子浓度，并把它与上风向的浓度做比较，计算出过滤器设备的总体效率或总透过率。 应在进行此项检测前，应先进行初始风速检测（B.4）。

应首先按照B.6.2.3（光度计法）或B.6.3.4（DPC法）测量上风向气溶胶浓度，以便验证其浓度和均质性。

气溶胶在过滤器的下风向均匀混合后，在下风每个过滤器的方格单元至少有一个测量点测量气溶胶的浓度。如果混合不均匀，应采用其他方法。应在一个平面上面积相等的几个位置上实施测量。该平面处在管道中，在过滤器的下风向30 cm到100 cm处，距管壁约3 cm。

应以适当的时间间隔重复测量过滤器上风向粒子浓度，以确认检测气溶胶源的稳定

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性（见B.6.2.3）。

应根据测量的浓度，计算出下风向每个位置上的总透过率及测量仪器据以进行调整的粒径的总透过率。

透过率都不应高过过滤器最易透过粒径额定透过率的5倍。对光度计而言，这个透过率不应超过10-4（0.01%）。客户与建造商的协议中可规定对过滤器效率检测、验收的其他标准。

可根据B.6.6或按照客户和建造商一致同意的方法，修补过滤器的渗漏。

注：需要用扫描方法对安装在管道上的过滤器进行检漏检测的，应采用B.6.2和B.6.3中说明的方法。

B.6.5 过滤器系统安装后检漏所需仪器和材料。

B.6.5.1至B.6.5.4中规定的仪器应该有有效的校准证书。

B.6.5.1 对数或线性函数气溶胶光度计（见C.6.1）。

B.6.5.2 离散粒子计数器（DPC）（见C.6.2）。采样流量要足够高并能够探测到与洁净室级

别相关的粒径。离散粒子计数器与气溶胶光度计仅限于在背景计数或浓度小于鉴定为规定渗漏的10%的情况下使用。

B.6.5.3 合适的气动生成或热生成气溶胶发生器。可在适当的粒径范围内产生适当浓度的检

测气溶胶（见C.6.3）。

B.6.5.4 合适的气溶胶稀释系统。 B.6.5.5 合适的气溶胶物质（见C.6.5）。

B.6.6 修理与修理方法

渗漏修补的可接受性，应只能由客户与建造商议定。确定修补方法应考虑仪器制造厂家或客户的意见。

选择修理用材，应考虑释气以及分子在产品与工艺上的沉降。 在过滤器、密封剂或安装架系统上探测到的渗漏，应予以修补。 可以使用客户和建造商一致同意的方法修补过滤器或安装架支撑结构。

修理完毕后，应允许有适当的养护时间，再使用规定的方法对渗漏点重新进行扫描检漏。

B.6.7 检测报告

应根据客户与建造商的协定，将本文件第5条中说明的下述信息和数据记录在案。

a) 检测方法：光度计或离散粒子计数器（DPC）； b) 所用每个测量仪器的型号及校准状况；

c) 客户与建造商一致同意的特殊条件、与本方法背离之处或特殊方法； d) 上风向气溶胶采样点位置及其测得的浓度与相应的测量时间； e) 采样流量，如用离散粒子计数器测量，说明其粒径范围；

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