所选择的仪器应有有效的校准证书。

B.4.5 检测报告

应根据客户和建造商的协议，记录下本文件第5条说明的下述信息和数据：

a) 检测类型与检测条件； b) 仪器的名称与校准状况；

c) 测量位置和距过滤器表面的公称距离； d) 占用状态；

e) 其它有关的测量数据。

B.5 压差检测 B.5.1 原理

这项检测的目的是检测整个洁净室设施维持洁净室设施与其周围环境之间、洁净室设施内隔开空间之间规定压差的能力。这项检测适用于3种占用状态中的任一种，并可以按ISO 14644-2的规定，作为洁净室设施的常规监测计划的组成部分定期重复进行。

B.5.2 压差检测方法

在测量各个房间之间或房间与外部区域之间的压差前，建议先确认送风量和洁净室设施的均衡性。

把所有的门关闭，测量并记录下洁净室和周围辅助环境之间的压差。

如果洁净室设施内的洁净室不只一个，应先测量最里面的房间及其最紧邻房间之间的压差。测量应该持续下去，直至测量出最后一个密封区与周围辅助环境之间及室外环境之间的压差。

如果所测的压力非常小，测量方法不对就很容易使读数有误。应该考虑下面两点：

a) 建议安装永久性的测量点；

b) 在靠近洁净室中间、远离对测量点局部压力有影响的送风口或回风口处做测量。

B.5.3 压差检测用仪器

仪器说明与测量技术条件见C.5。可以使用电子微压计、斜管压力计或机械式压差计。 仪器应有有效的校准证书。 B.5.4 检测报告

应根据客户与建造商的协议，记录下本文件第5条中说明的下述信息和数据：

a) 检测类型与检测条件； b) 仪器的名称与校准状况；

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c) 所考虑房间的洁净度级别； d) 测量点位置； e) 占用状态。

B.6 过滤器系统安装后检漏

警告 - 有些洁净室设施不容许进行气溶胶检测，因其对洁净室设施有粒子或分子的污染。有些检测用气溶胶在某些情况下会对安全有害。本部分ISO 14644不涉及任何与这些方法有关的安全问题。采用本部分ISO 14644之前，应由客户负责进行咨询并实施适当的安全规范、风险分析和法规。

B.6.1 原理 B.6.1.1 概述

此项检测的目的是确认过滤器系统安装良好并在使用过程中无渗漏发生。B.6中给出的检测方法取自IEST-RP-CC034.2。此项检测旨在证实洁净室设施没有影响洁净度的渗漏。进行这项检测时，从过滤器的上风向引入检测气溶胶，并立即在过滤器的下风向对过滤器及其支撑框架进行扫描，或在下风管采样。这项检测为全部过滤器设备的检漏，包括过滤器介质、框架、密封垫和支撑系统。过滤器系统安装后的检测不应与各个过滤器在制造厂家进行的效率检测相混淆。这项检测适用于空态或静态下的洁净室。当对新洁净室进行调试，或现有洁净室设施需进行再检测，或更换了终端过滤器后，应进行这项检测。

在B.6.2和B.6.3中说明了对安装在天花板、墙上或设备上的过滤器的两种检测方法，在B.6.4中则说明了安装在风管上的过滤器的检测方法。进行下面所述的检测，可以使用气溶胶光度计（B.6.2）或离散粒子计数器（DPC）（B.6.3）。这两种检测方法获得的结果不能进行直接比较。

B.6.1.2 使用气溶胶光度计

可使用气溶胶光度计法（B.6.2）做检测：

a) 风管上安装有气溶胶注入口、检测气溶胶可达到规定的高浓度的洁净室。 b) 装有最易穿透粒径（MPPS）的整体透过率等于或大于0.003 %的过滤器系

统；

c) 沉降在过滤器和管道上的油基挥放性检测气溶胶的释气对洁净室内的产

品、工艺、人员无害的洁净室设施。

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注：气溶胶光度计法在同级过滤器上形成的气溶胶浓度是离散粒子计数器（DPS）的100倍到

1000倍。

B.6.1.3 使用离散粒子计数器（DPC）

DPC法（B.6.3）更为敏感，对过滤器系统的污染比气溶胶光度计法小。它可以用来检测：

a) 配备各种空气处理系统的洁净室；

b) 其过滤器最易穿透粒径（MPPS）的透过率低到0.000005 % 的系统； c) 过滤器和管道上沉降的油基挥放性检测气溶胶不允许有释气或建议采用固体气溶胶的设施。

B.6.2 使用气溶胶光度计对安装后的过滤器系统进行扫描检漏的方法 B.6.2.1 概述

准备步骤见B.6.2.21 至B.6.2.5，检测方法本身见B.6.2.6，验收标准和修理工作见B.6.2.7和B.6.6。

B.6.2.2 选择上风向检测气溶胶

应把人工生出的多分散气溶胶或大气气溶胶引入到上风向气流中，使其达到要求的均质性和检测浓度。这种方法粒子的质量中径一般为0.5 μm至0.7 μm，其几何标准偏差为1.7。

注：有关气溶胶物质的指南见C.6.4。

B.6.2.3 上风向检测气溶胶的浓度与验证

过滤器上风向检测气溶胶的浓度应在10 mg/m3至100 mg/m3之间。浓度低于20 mg/m3会降低检漏的灵敏度。浓度高于80 mg/m3，长时间的检测会污染过滤器。

应采取适当的措施验证加入的气溶胶与送风混合均匀。对系统进行第一次检测时就应确定气溶胶混合充分。为进行这项验证，应对所有的注入口和采样点做出规定并予以记录。

在紧靠过滤器上风向处测量上风向气溶胶浓度的变化不应超过平均测量值的 ? 15 %。浓度低于平均浓度会降低对小渗漏检测的灵敏度，较高的浓度则会增加小渗漏的检测灵敏度。进行空气、气溶胶混合检测的更多细节，应由客户和建造商达成一致，ASME N510-1989和IEST-RP-CC034.2: 1999可能会有帮助。

B.6.2.4 确定采样管尺寸

计算采样管口尺寸应考虑测量仪器的样本流量及过滤器出口风速，以使采样管口风速与过滤器出口的风速接近。采样管应为方形或直角形。应该认真考虑管口速度分布。

Dp?qva U?Wp62

其中：Dp 与扫描方向平行的采样管尺寸（cm）；

qva 测量仪器的实际采样流量（cm3/s）； U 过滤器出口风速（cm/s）；

Wp 与扫描方向垂直的采样管尺寸（cm）。

注：风速应该为：

(U + 20 %) ≥ Us ≥ (U – 20 %)

也可表示为：

1.2 U ≥ Us ≥ 0.8 U

式中：U 为过滤器出口处的气流速度；

Us?qva 为采样管口的风速。

Dp?WpB.6.2.5 确定扫描速率

采样管横向扫描率Sr应该约为15/Wp cm/s。例如，当使用3 cm×3 cm方形采样管进行横断面扫描时，Sr为5 cm/s。

B.6.2.6 过滤器系统安装后的检漏扫描方法

本项检测是这样进行的：在过滤器的上风向引入规定的检测气溶胶，并使用光度计的采样管在过滤器的下风向一侧对过滤器、安装架扫描检漏，方法如下：

a) 应该先进行风速检测（B.4）并合格后，再进行此检测。

b) 应该先实施B.6.2.3所说明的过滤器上风向气溶胶检测，验明气溶胶浓度及其分布的均质性；

c) 然后以不超过B.6.2.5中说明的扫描速率Sr横向移动采样管，采样管的行程要稍有重叠。采样管应该保持在距过滤器下风向表面或框架结构约3 cm的地方。

d) 扫描每个过滤器下风向的整个面、每个过滤器的周边、过滤器框与安装架构之间的密封面，包括其结合部。

e) 进行检漏扫描时及以后，应以适当的时间间隔对过滤器上风向的气溶胶进

行重复测量，以确认检测气溶胶浓度的稳定性（见B.6.2.3）。

B.6.2.7 验收准则

若在扫描时，显示出渗漏等于或大于限值，这是存在规定渗漏的征象，则应把采样管停在渗漏处。在光度计上维持最大读数的采样管位置，应是渗漏位置所在。 当读数超过上风向检测气溶胶浓度的10-4（0.01%）时，就认为有规定渗漏。其他验收标准可由客户和建造商议定。

注：过滤器的渗透率和/或光度计的反应时间如不同，可考虑用不同的约定渗漏准则，参见

IEST-RP-CC034.2。

B.6.3 过滤器安装后用离散粒子计数器（DPC）扫描检漏的方法

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