器膜始终保持水平位置，并且从采集样本到进行分析的过程中间，过滤器架未受任何振动或冲击。对过滤器表面的粒子进行计数。

B.3.3.2.2 用串级撞击器采集并测量

如采用串级撞击器，采样气流喷射穿过一系列口径渐小的孔，大粒子直接沉降在最大孔径的孔下，较小的粒子则依次沉降在撞击器的各级上。采集大粒子可以使用两种类型的串级撞击器。其中一种是粒子沉降在移动式平板的表面。平板可移开称重或用显微镜检查。这种撞击器采样流量一般为0.00047 m3/s。另外一种是粒子沉降在压电石英微量天平质量传感器上，该传感器对撞击器各层级采集到的粒子加以称重。这种串级撞击器采样流量一般小得多。

a) 用第一种串级撞击器进行测量前，先记录下每一级的初始皮重或计算出每级单

位面积的粒子原数量。撞击器工作10分钟或更长时间，在时间段结束时，将其封好并移到天平或显微镜处进行评估。取下各级采集平板，记录下能够采集大粒子的各个层级上所积累的粒子的重量或数量。大粒子浓度的定义为：撞击器有关各级粒子总重或总量，被穿过撞击器的总气流量除。

b) 第二种串级撞击器在采样时间里采集到粒子的质量数据。如把各级微量天平传

感器设为可显示质量的变化，一般不需要在采样开始前测定皮重。该撞击器与前一个相同，各级可单独取出，用光学显微镜观测各个粒子，或用电子显微镜观测粒子成份。将采样流量调整为0.00039 m3/s，采样时间根据洁净区的级别设为10分钟到几小时不等。把撞击器放在预先选好的采样点并启动之。采样期结束后，可把撞击器移至其他位置，并对采本进行测量。大粒子浓度定义为，在各有关层级上的粒子总重或总量被穿过撞击器的总气流量除。

B.3.3.3 无粒子采集的大粒子测量 B.3.3.3.1 概述

不从空气中采集粒子也可测量大粒子，即对悬浮在空气中的粒子进行光学测量。空气样本以一定的流量流过离散粒子计数器（DPC），计数器就会报出粒子的当量光学直径或空气动力学直径。

B.3.3.3.2 离散粒子计数器（DPC）测量

使用离散粒子计数器测量大粒子的方法与B.1中的空气悬浮粒子计数方法相同，但有个例外，即此时离散粒子计数器对探测1 μm以下粒子的灵敏度没有要求，因为仅需大粒子的计数数据。要注意离散粒子计数器的样本是直接来自采样点的空气。接在离散粒子计数器的采样管长度不得超过1米。该离散粒子计数器应具有0.00047 m3/s的采样流量，其采样管口的尺寸也应适合在单向流区进行等动力采样。

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在有非单向流的区域，离散粒子计数器的采样管口应垂直向上，采样管口直径不得少于30 mm。

把离散粒子计数器的粒径范围设为仅探测大粒子。应记录下比5 μm（见ISO 14644-1，表1）低一级的粒径数据，以确保探测到的小于大粒子的粒子浓度不会高到可引起计数器的重复测量误差。当把这较小粒径范围的粒子浓度加到大粒子浓度上时，它不应超过所用离散粒子计数器规定的最大粒子浓度建议值的50%。

B.3.3.3.3 飞行时间粒径测量

大粒子的尺寸可以用飞行时间仪测量。将空气样本抽入仪器，通过喷嘴进入一部分真空区（测量区），气流因膨胀而加速。空气样本中的粒子被加速达到测量区内的风速，粒子的加速度与粒子的质量呈相反方向变化。可以利用测量点风速与粒子速度之间的关系，测定粒子的空气动力学直径。知道环境气压与测量区气压的压差，

就可直接计算出风速。粒子速度是根据粒子在两条激光束间的飞行时间测定的。飞行时间仪可测量20 μm粒子的空气动力学直径，粒径分辨率好于10%。获取样本的方法与使用离散粒子计数器测量大粒子时相同。此外，其确定粒径范围的方法，也与离散粒子计数器相同。

B.3.4 大粒子计数方法

把所选仪器的空气采样管架设好，在每个采样点按要求的空气量采集至少20个大粒子，并按照ISO 14644-1或 ISO 14644-2的规定实施测量。按照客户和建造商的一致意见，在选择的粒径范围内计算M描述符的浓度并报出数据。如果需要了解大粒子浓度的稳定性，则按照客户与建造商一致同意的时间间隔在选定的位置进行3次或更多测量。 B.3.5 检测报告

应按照客户和建造商的一致意见，记录第5条所说明的、对洁净室的分级或检测的下述信息和数据：

a) 检测仪有响应的粒子参数的定义； b) 测量类型：分级、M描述符检测、监测； c) 所用测量仪器和器具的标识和校验情况； d) 洁净室的洁净度级别；

e) 大粒子粒径范围和该范围内的计数； f) 检测仪采样管口采样流量与传感器容积流量； g) 采样点位置；

h) 分级采样的日程计划或检测采样计划书； i) 占用状态；

j) 大粒子浓度的稳定性（如要求）； k) 其它与测量有关的数据。

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B.4 气流检测 B.4.1 原理

本检测的目的是测量洁净室和洁净区内的风速均匀性及送风量。单向流洁净室或洁净区必须测量风速分布，而非单向流的洁净室和洁净区必须测量送风量。测量送风量是要查明单位时间内送到洁净设施内的风量，该值可以用来测定单位时间内的换气次数。送风量或是在终端过滤器的下风向测量，或是在送风管中测量。两种方法都是测量穿过或来自一已知区域的风速。用风速与面积的乘积，即可计算出风量。应按客户和建造商的一致意见选择测量方法。该检测方法适用于3种占用状态中的任一种。

B.4.2 单向流设施的检测方法 B.4.2.1 概述

可用单向流的风速来测定单向流洁净室的性能。可以在靠近终端送风过滤器表面的位置或是在室内测量风速。方法是规定出与送风气流成直角的测量平面，然后把其分成面积相等的方格单元。

B.4.2.2 送风速度

应该在距过滤器表面约150 mm ~ 300 mm的位置测量风速。测量点的数目应足以测定洁净室和洁净区内的送风量，并且应该为面积（m2）的10倍的平方根，但不得小于4。每个过滤器出风口或FFU至少要有一个测量点。可以用幕帘来隔绝对单向气流的干扰。

各点的测量时间应该足够长以确保计数可再现。应该记录下多个位置上所测风速的时间平均值。

B.4.2.3 洁净室内风速的均匀性

应该在距过滤器表面约150 mm ~ 300 mm的位置测量风速的均匀性，方格单元的划分应该按客户和建造商议定的意见确定。

当生产装置和工作台安装好后，重要的一点是确认气流重大变化事件。因此，不应在靠近这些障碍物的地方测量风速的均匀性。

测得的数据可能无法显出洁净室或洁净区设施本身的特性。测定风速均匀性的数据，即风速分布数据，应该由客户和建造商协商确定。 各点上的测量时间应该足以确读数的再现性。

B.4.2.4 用过滤器面速测量送风量

可按B.4.2.2风速测量的结果计算总送风量：

Q??(Uc?Ac)

式中：Q 为总风量；

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Uc 为各个单元中心处的风速；

Ac 为单元面积（定义为设施面积被测量点数目除）； ? 为单元数目总和。

B.4.2.5 风管中的送风量

风管中的送风量可以用孔板流量计、文丘里流量计和风速计等容积流量计测量。参见ISO 5167-1至ISO 5167-4。

如果用皮托静压管和测压计或风速计（热式或叶片式）对矩形风管进行测量，则应把风管中的测量平面划分为面积相等的方格单元，然后在单元的中心处测量风速。方格单元的数目由客户和建造商议定，如9个或16个。应采用与B.4.2.4中相同的方法对风量进行评估。如是圆形风管，可以用EN 12599中说明的一般方法用皮托静压管测定风量。

B.4.3 非单向流设施的检测方法 B.4.3.1 概述

送风量和换气次数是最重要的参数。某些情况下，需要测量各个出风口的送风速度，以测定各个送风口的风量。

B.4.3.2 送风口处测量的送风量

由于送风口局部气流的扰动和喷射速度产生的效应，建议采用风罩捕集所有从终端过滤器或送风散流器流出的空气。可以用配有流量计的风罩，或是用风罩出风的风速乘以有效面积。风罩的开口位置应该能完全覆盖住过滤器或散流器，其表面应该靠在一个平坦的表面上，防止空气因旁流产生不精确的读数。如采用带流量计的风罩，则应该在风罩的排风端直接测量各个终端过滤器或送风散流器的风量。

B.4.3.3 按过滤器面速度计算的送风量

如果没有配备风罩，可以用各个终端过滤器下风向的风速计来评估送风量。用风速乘以出口面积来测定送风量。可用幕帘隔断对单向气流的干扰。 关于测量点的数目和送风量的计算，可分别参见B.4.2.3和B.4.2.4。

如果无法把平面划分为等面积的方格单元，也可以采用面积加权的平均风速。

B.4.3.4 风管中的送风量

测定风管中的送风量与B.4.2.5的方法相同。

B.4.4 气流检测仪

仪器说明与测量技术条件见C.4。风速测量可使用超声波风速计、热风速计，叶片风速计或类似的仪器。

风量测量可使用孔板流量计、文丘里流量计、皮托静压管和压力计或类似的仪器。 进行风速测量所使用的仪器应不受短距离点对点速度变动的影响。例如，划分的格子小、测量点更多，就可以使用热风速计。另外，也可以使用叶片流量计，如其有足够的灵敏度和大小，可在一定变动范围内测量“平均”风速。

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