[ISO 14644-2:2001, 3.11]

3.4.8 气流均匀性 uniformity of airflow

单向流各点的风速读数处在规定的平均风速偏差率内。

3.5 静电测量

3.5.1 放电时间 discharge time

绝缘的导电监测板的电压降至原（正的或负的）充电电压所需的时间。 3.5.2 补偿电压 offset voltage

把未充电的绝缘导电板置于电离空气中时其上积累的电压。 3.5.3 静电耗散特性 static-dissipative property

以传导或其它机理将工作表面或产品表面的静电荷降至额定零电荷或特定值的能力。 3.5.4 表面电压电平 surface voltage level

用仪器测出的工作表面或产品表面的（正的或负的）静电电压电平。

3.6 测量仪器和测量条件

3.6.1 气溶胶光度计 aerosol photometer

利用前散射光室测量空气悬浮粒子质量浓度的光散射测量仪。 3.6.2 非等动力采样 anisokinetic sampling

采样管入口处采样平均风速与该位置的单向流的平均风速显著不同的采样 状况。

3.6.3 撞击采样器 impact sampler

令空气或气体撞击固体表面来采集其所携粒子的装置。

注：每个后续的采集器表面接触的气溶胶流的飞行速度比前一个采集器表面快，由此可采集到比

前个表面更小的粒子。

3.6.4 凝聚核计数器 condensation nucleus counter （CNC）

用凝聚方法使超微粒子增大并用光学计数法进行计数的仪器。 3.6.5 计数效率 counting efficiency

给定粒径范围内所读出的粒子浓度与实际粒子浓度之比。 3.6.6 差动迁移率分析仪 differential mobility analyzer （DMA）

根据粒子的电迁移率测量粒径分布的仪器。 3.6.7 扩散元件 diffusion battery element

多级粒径限制器的单个部件，运用扩散原理除去气溶胶气流中的较小粒子。 3.6.8 离散粒子计数器 discrete-particle counter （DPC）

具有显示和记录规定空气容积中离散粒子的数量和尺寸（有尺寸识别功能）的仪器。 3.6.9 虚计数、背景噪声、假计数 false count, background noise count, zero count

当没有粒子时，离散粒子计数器因内外无需电信号所产生的计数。

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3.6.10带风量计的风罩 flowhood with flowmeter

可将洁净室设施的终端过滤器或散流器完全罩住并直接测量其风量的装置。 3.6.11同轴采样 iso-axial sampling

采样管入口气流的方向与所采单向流的流向相同的采样条件。

3.6.12等动力采样 isokinetic sampling

采样管入口气流的平均风速与该位置上单向流的平均风速相等的采样条件。 3.6.13粒径限制器 particle size cutoff device

连接在离散粒子计数器或凝聚核计数器采样口、可将小于要求的粒子去除的装置。 3.6.14粒径阈值 threshold size

为测量大于或等于该粒径的粒子浓度而选定的最小粒径。 3.6.15飞行时间粒径测量 time-of-flight particle size measurement

用粒子飞过两块固定平面之间的距离所需的时间测量其空气动力学直径。

注：根据粒子被诱导至与其速度不同的流场中产生速度漂移进行测量。

3.6.16虚拟冲撞器 virtual impactor

使粒子用惯性力冲撞理论（虚拟）表面将不同粒径的粒子分开。

注：大粒子可穿过表面进入一停滞的空间，而小粒子碰到该表面时则随主气流偏转。

3.6.17代测板 witness plate

当一特定表面无法接近或对搬运太敏感无法直接进行测量时、作为被测表面替代件的、有规定表面积的污染敏感材料。

3.7 占用状态 3.7.1 空态

全部建成且设施齐备的洁净室，其所有动力均接通并在运行，只是没有生产设备、材料及人员。

[ISO 14644-1:1999, 2.4.1] 3.7.2 静态

在全部建成、设施齐备的洁净室中，已安装好的生产设备正在按客户和建造商商定好的方式运行，但场内没有人员。 [ISO 14644-1:1999, 2.4.2] 3.7.3 动态

全部建成、设施齐备的洁净室正在以规定的模式运行，且现场有规定数目的人员正以商定的方式工作。

[ISO 14644-1:1999, 2.4.3]

4 检测方法

4.1 洁净室检测 4.1.1 规定的检测

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对洁净室设施分级应按照ISO 14644-1，检测空气悬浮粒子计数（见表1），复检的时间间隔应按照ISO 14644-2中的规定。

表1. 洁净室设施规定进行的检测

规定的检测 洁净度分级悬浮粒子计数以及洁净室和洁净空气装置检测 ISO14644-3:2005的相应内容 原理 4.2.1 方法 B.1 仪器 C.1 提及处 ISO 14644-1与ISO 14644-2 4.1.2 任选检测项目

表2 中列出了适用于洁净室设施的其它检测项目。这些检测项目可适用于3种规定占用状态中的每一种。这些项目可能还不是包罗万象的，也不是要对全部给定验证项目进行检测。选取哪些检测项目及其检测方法，应由客户与建造商议定。这些选定的检测也可作为设施日常监测计划的组成部分重复实施（见ISO 14644-2）。检测项目选择指南与检测目录见附件A，检测方法概述见附件B。

附件B中的检测方法只是概述。应制定具体的方法以满足特定的应用要求。

表2. 洁净室设施检测选项

检测选项 空气悬浮超微粒子计数 空气悬浮大粒子计数 压差 气流a 过滤器安装后的检漏 气流方向检测和目检 温度 湿度 静电和电离子器检测 粒子沉降 自净时间 隔离检漏 ISO14644-3:2005的相应内容 原理 4.2.1 4.2.1 4.2.2 4.2.3 4.2.4 4.2.5 4.2.6 4.2.6 4.2.7 4.2.8 4.2.9 4.2.10 方法 B.2 B.3 B.4 B.5 B.6 B.7 B.8 B.9 B.10 B.11 B.12 B.13 仪器 C.2 C.3 C.4 C.5 C.6 C.7 C.8 C.9 C.10 C.11 C.12 C.13 提及处 ISO 14644-1 ISO 14644-1 ISO 14644-1和ISO 14644-2 ISO 14644-1和ISO 14644-2 ISO 14644-2 ISO 14644-2 ISO 7726 ISO 7726 ISO 14644-2 ISO 14644-1和ISO 14644-2 46

a. 这是ISO 14644-2规定的检测项目。这些检测项目不是按重要性排列的。检测项目的顺序可依据文件的具体要求或是由客户和建造商议定。

4.2 原理

4.2.1 空气悬浮粒子计数

这项检测旨在确定空气洁净度，它由下述3部分组成： a) 分级检测（见B.1）

b) 超微粒子检测（选项）（见B.2） c) 大粒子检测（选项）（见B.3）

b) 项与c) 项检测可作为说明性的或者规定一项具体要求的依据，但不能用于分级。 4.2.2 气流检测

进行这项检测是为了确定非单向流洁净室内的送风量以及单向流洁净室内的风速分布。一般是测风速或者是测风量。其结果只要求用一种方式表示：平均风速，平均风量或总风量。反过来又可以用总风量确定非单向流设施的换气量（每小时换气次数）。单向流洁净室则要确定风速。气流检测方法见B.4。 4.2.3 压差检测

压差检测的目的是验证洁净室系统维持其设施与其周围环境间规定压差的能力。压差检测是在洁净室设施已满足风速或风量、送风均匀性及其他适用检测的验收标准后进行的。压差检测的详细说明见B.5。 4.2.4 过滤器系统安装后检漏

这项检测旨在验证洁净室设施不存在旁路渗漏，过滤器不存在缺陷（过滤器介质和密封框架上的小眼及其他损伤）与渗漏（过滤器框架和密封垫圈上的旁路渗漏，过滤器安装架处的渗漏），从而确认终端高效过滤器安装良好。这项检测不检查系统的效率。这项检测是这样进行的：在过滤器上风向引入检测气溶胶，并立即在过滤器的下风向对过滤器、其支撑架进行扫描，或在下风向的风管中采样。B.6中给出了2种不同的检漏方法。

4.2.5 气流方向检测和目检

这项检测的目的旨在确定气流方向或气流形式都符合设计和性能方面的技术要求。如果有要求，也可确定洁净室设施内气流在空间上的特性。检测方法见B.7。 4.2.6 温度与湿度均匀性检测

这项检测旨在证明洁净室空气处理系统在所测区域内、在客户规定的时间段里将空气的温度和湿度（以相对湿度或露点表示）控制在限值以内的能力。这些检测的方法见

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