洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法

注意 – 本部分ISO 14644的应用可能涉及有害的材料、作业和设备。本部分ISO 14644未提及所有与其使用有关的安全性问题。因此，使用本标准时，客户应负责制定适当的安全和卫生准则，及在使用前确定规程性限制的适用性。

1 范围

本部分ISO 14644规定了指定级别的空气悬浮微粒洁净度的检测方法和测定洁净室和洁净区性能特性的检测方法。这种特性检测可用在3种状态（空态、静态、动态）下的、单向流和非单向流这两种类型的洁净室和洁净区。检测方法中有检测仪器和检测方法方面的建议。如果洁净室和洁净区的类型影响到检测方法，则有其他检测方法的建议。其中的某些检测，则建议了几种不同的方法和仪器，以便适合于不同的最终使用要求。如果客户与建造商一致同意的话，可以使用本部分的ISO 14644中未包括的方法。替代方法不一定会提供等效的测量结果。

本部分ISO 14644不适用对洁净室或隔离装置内产品或工艺进行的测量。

2 引用标准

下列引用标准对本文件的使用是不可或缺的。标有日期的引用标准，只有该引用的版本适用。没标有日期的引用标准，则其最新版本的规范性文件（包括任何修正版）适用。

ISO 7726:1998， 热环境人机工程学-物理量测量仪

ISO 14644-1:1999， 洁净室及相关受控环境-第1部分：空气洁净度分级

ISO 14644-2:2000， 洁净室及相关受控环境-第2部分：证明一直符合ISO1 4644-1的检测

和监测技术条件

ISO 14644-4:2001，洁净室及相关受控环境-第4部分：设计、建造和启动

3 术语和定义

本部分ISO 14644采用的术语和定义如下。

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3.1 普通

3.1.1 洁净室 cleanroom

空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式可最大限度减少房间内进入的、产生的、滞留的粒子，房间内温度、湿度和压力等其他相关参数按要求受控。 [ISO 14644-1:1992, 2.1.1] 3.1.2 洁净区 clean zone

空气悬浮粒子浓度受控的专门空间，其建造和使用方式可最大限度减少区内进入的、产生的、滞留的粒子，区内温度、湿度和压力等其他相关参数按要求受控。

注：洁净区可以是开放式的也可以是封闭式的，可以位于或不在洁净室内。

[ISO 14644-1:1992, 2.1.2] 3.1.3 洁净室设施 installation

带有全部维护结构、空气处理系统、服务设施、公用设施的洁净室或洁净区。 [ISO 14644-1:1992, 2.1.3] 3.1.4 隔离装置 separative device

采用构造和动力学方法在确定的容积内外创建可靠隔离水平的设备。

注：某些产业用隔离装置有：层流罩（洁净工作台）、隔离密封空间、手套箱、隔离器、微环境。

3.2 空气悬浮粒子测量

3.2.1 气溶胶发生器 aerosol generator

能以加热、液压、气动、超声波音频、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当（例如0.05 μm至2 μm）的微粒物质的仪器。 3.2.2 空气悬浮粒子 airborne particle

悬浮在空气中的、粒径从1纳米到100微米的活的或非活的固态或液态粒子。

注1：针对ISO 14644-3。分级方面见2.103。 注2：摘自ISO 14644-3:2005, 3.2.2。

3.2.3 数量中径 count median particle diameter （CMD）

根据粒子数量得出的粒径中值。

注：粒径中值即一半的粒子粒径小于数量中值，一半的粒子粒径大于数量中值。

3.2.4 大粒子 macroparticle

当量直径大于5 μm的粒子。 [ISO 14644-1:1992, 2.2.6] 3.2.5 M描述符 M descriptor

规定的或测得的每立方米空气中大粒子的浓度，以所用测量方法特性确定的当量直径表示。

注：M描述符可以作为采样点平均浓度的上限（或按照洁净室或洁净区中采样点的数量作为置信

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上限）。不能使用M描述符规定悬浮粒子洁净度等级，但M描述符既可单独引述，也可与悬浮粒子洁净度等级同时引述。

[ISO 14644-1:1992, 2.3.2]

3.2.6 质量中径 mass median particle diameter （MMD）

根据粒子质量得出的粒子直径中值。

注：质量中径即全部粒子质量的一半小于质量中径，另一半大于质量中径。

3.2.7 粒子浓度 particle concentration

单位空气体积中粒子的个数。 [ISO 14644-1:1992, 2.2.3] 3.2.8 粒径 particle size

在指定的粒子尺寸测定仪上，有相当于被测粒子的响应的球体的直径。 注：光散射离散粒子计数器在粒子计数中使用的则是当量光学直径。 [ISO 14644-1:1992, 2.2.2] 3.2.9 粒径分布 particle size distribution

粒子浓度的累积分布，它是粒径的函数。 [ISO 14644-1:1992, 2.2.4] 3.2.10 检测气溶胶 test aerosol

具有已知浓度与受控的粒径分布的固体和（或）液体粒子的气态悬浮物。 3.2.11 U描述符 U descriptor

每立方米空气中测出的或规定的粒子包括超微粒子浓度。

注：可将U描述符作为采样点平均值上限（或作为置信上限，依洁净室或洁净区测量时所用的采

样点数量确定）。不能用U描述符规定悬浮粒子洁净度等级，但它可与悬浮粒子洁净度等级同时引述，也可以单独引述。

[ISO 14644-1:1992, 2.3.1] 3.2.12 超微粒子 ultrafine particle

当量直径小于0.1 μm的粒子。 [ISO 14644-1:1992，2.2.5]

3.3 空气过滤器与系统

3.3.1 气溶胶检测 aerosol challenge

用检测气溶胶对过滤器或已安装在位的过滤器系统进行检测。 3.3.2 规定渗漏 designated leak

客户与建造商商定的最大允许穿透限值。用离散粒子计数器或气溶胶光度计对洁净室设施进行扫描时可检测到的渗漏。 3.3.3 稀释系统 dilution system

按已知容积比将进入的气溶胶与无粒子空气混合以降低气溶胶浓度的系统。 3.3.4 过滤器系统 filter system

由过滤器、框架及其他支撑装置或外壳所组成的系统。

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3.3.5 终端过滤器 final filter

处在于空气进入洁净室前终端位置上的过滤器。

3.3.6 安装就位的过滤器系统 installed filter system

安装在天花板、墙壁、风管或设备上的过滤器系统。 3.3.7 过滤器安装后检漏 installed filter system leakage test

为确认过滤器安装良好、没有向洁净室设施的旁路渗漏，过滤器及其框架均无缺陷和渗漏所做的检测。

3.3.8 渗漏 leak （过滤器系统）

因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下风向浓度超过预期值。 3.3.9 扫描 scanning

用气溶胶光度计或离散粒子计数器的采样管、采取重叠的行程移过规定的检测）区、以发现过滤器渗漏的方法。

3.3.10 “标准”渗漏率 standard leak penetration

离散粒子计数器或气溶胶光度计的采样管停留在渗漏处以标准采样流量测得的渗漏率。

注：穿透率是过滤器下风向粒子浓度与上风向浓度之比。

3.4 气流

3.4.1 换气次数 air exchange rate

单位时间的换气率，以单位时间送入空气的体积除以空间的体积计算。 3.4.2 平均风量 average air flow rate

单位时间通过的平均空气容积，可据此确定洁净室或洁净区的换气 次数。

注：风量以每小时立方米表示（m3/h）。

3.4.3 测量平面 measuring plane

用来检测或测量风速等性能参数的横断面。 3.4.4 非单向流 non-unidirectional airflow

送入洁净区的送风以诱导方式与区内空气混合的气流分布类型。 [ISO14644-2:2001, 3.6] 3.4.5 送风量 supply airflow rate

在单位时间内从风管或从终端过滤器送入洁净室设施的风量。 3.4.6 总风量 total air flow rate

在单位时间里通过洁净室设施的断面的风量。 3.4.7 单向流 unidirectional airflow

通过洁净区整个断面的、风速稳定、大致平行的受控气流。 注：这种气流可定向清除洁净区的粒子。

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