d) 占用状态。

B.12 自净检测 B.12.1 原理

本检测是用来确定洁净室设施清除空气悬浮粒子的能力。产生粒子的事件发生后，洁净度的自净性能是洁净室设施最重要的能力之一。本检测仅仅对非单向流系统重要并建议采用，因为自净性能是受控区内空气循环量、入风口及出风口气流几何图形、热状况和空气分布特性的函数。然而，在单向流系统中，受控气流会使污染排出，并且自净时间是位置和距离的函数。本检测应该在洁净室设施处于空态或静态时进行。 建议ISO 8级和9级不进行此项检测。

如使用人造气溶胶，应该防止对洁净室设施的残留污染。 B.12.2自净性能

用100:1的自净时间或洁净度自净率来评估自净性能。100:1自净时间的定义是将初始粒子浓度降低100倍所需要的时间。洁净度自净率的定义是，通过时间改变粒子浓度的速率。用相同的粒子浓度衰减曲线能够预测出上述两项结果。

测量应该在这样的时间范围内进行，即粒子浓度用单一指数表述，该指数在半对数图（纵坐标上的浓度按对数刻度，横坐标上的时间值按线性刻度）上以直线标出。另外，检测浓度不应过高而引起重合损耗，也不应过低而引起计数偏差。

注：用实验评估100:1自净时间是首选测量方法。

B.12.3 自净检测方法

B.12.3.1 用100:1-自净时间进行评估

若能够把初始粒子浓度设置到洁净度目标级别的100倍或更高时，可直接测量100:1-自净时间。

应该小心避免重合误差和可能对DPC光学器件的污染。检测前，要计算出100:1自净时间检测所需浓度。如果浓度超过了DPC的最大能力以至发生重合，可用稀释系统降低浓度，避免重合，或用自净率检测（B.12.3.2）取代100:1自净时间检测。

a) 按照厂家的说明和校准证书设置计数器。

b) 把DPC的采样管置于检测点处，测量点和测量次数应由客户和建造商议

定。DPC的采样管不应直接置于空气出口下方。

c) 把单个样本量调整到与测定洁净度级别相同的值。计数器从每次计数开始

到输出记录的时间延迟应该调整到不超过10 s。

d) 本检测中用的粒径不应小于1 ?m。建议DPC用的粒径通道与气溶胶最大

浓度相应。

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e) 应该在空气处理设备运行时用气溶胶将待检验的洁净室区域污染。 f) 把粒子的初始浓度提高到洁净度目标级别的100倍或更高。

g) 每隔1分钟开始一次测量。注意粒子浓度达到100 ×目标浓度阈值时的时

间（t100n）。

h) 注意粒子浓度达到洁净度目标级别的时间(tn)。 i) 100:1的自净时间用t0.01 =（tn - t100n）表示。

B.12.3.2 用自净率评估

可按要求的洁净度级别（见ISO 14644-1）的粒子浓度衰减曲线的斜率，来确定自净性能，测定方法如下：

a) 在直角坐标图上绘出下降的粒子浓度，横坐标表示时间，在纵座标上的对

数刻度表示浓度值；

b) 从斜线的斜率值得出洁净度的自净率。 用下述公式计算两次连续测量之间的自净率：

n??2.3??C1?1log10??C?? （B.12） t1?0?式中：

n 为洁净度自净率；

t1 为第一次和第二次测量的时间间隔； C0 为初始浓度； C1 为t1时间后的浓度

= C0 exp (-n t1)

每次测量平均得到5 ~ 10个自净率值。

自净率和100：1的自净时间的关系可用如下公式表示：

n??2.3?11?1? （B.13） log10?(?2)?4.6????2.3?t0.01100tt??0.010.011B.12.4 自净率检测仪和测量点

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下面列出的检测仪器应该有有效的校准证书。 测量点的数目应该由客户和建造商议定。

B.12.4.1 气溶胶发生器和人工生成气溶胶，特性与B.6中描述的相同。 B.12.4.2 离散粒子计数器（DPC），效率按C.1和C.6中的效率。 B.12.4.3 稀释系统（根据需要），如C.12.3所述。 B.12.5 检测报告

应该按照客户和建造商的协议，按本文件第5条的说明记录下述资料和数据：

a) 所用测量仪器的型号及其校准状况； b) 测量点的数目和位置； c) 占用状态。

B.13 隔离检漏 B.13.1 原理

本检测是用来测定有无受污染的空气从周围具有相同或不同静压的非受控区侵入到洁净区，并检查加压的天花板系统有无渗漏。

B.13.2 隔离检漏方法

B.13.2.1 离散粒子计数器（DPC）法

测量洁净室密封体外部紧邻被评估的表面或门道粒子浓度。该浓度在所测粒径上应该比洁净室的浓度大出一个103的系数，并至少等于3.5 × 106 个粒子/m3。如果浓度小于该值，生成气溶胶提高浓度。

检查施工接合处、裂缝或服务性管道的渗漏情况，要在洁净室内、距待测接合处、密封处或配合表面5 cm以下的距离上、以约5 cm/s的速度扫描密封体内部。 检查敞开的门道处的渗漏情况，建议采用气流目检法。

记录并报告所有比测得的外部适当粒径的气溶胶浓度超过10-2倍的读数。

注：本项测量的测点数目和位置由客户和建造商议定。

B.13.2.2 光度计法

按B.6.2.2在洁净室或装置外生成浓度高到可使设定在0.1%档上的光度计超过满刻度的气溶胶。

在0.1%档上光度计的读数超过0.01%就表明有渗漏。

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检查施工接合处、裂缝或缝隙的渗漏情况，要在密封体内部距待测接合处或密封表面5 cm以下的距离上、以约5 cm/s的速度进行扫描。

检查敞开的门道处的渗漏情况，在距离敞开的门0.3 m ~ 1 m的距离上测量密封体内部的浓度。

记录并报告所有超过0.01%光度计刻度的读数。

B.13.3 隔离检漏仪器

下述仪器应该有有效的校准证书。

B.13.3.1 如B.6.5中所述的人工气溶胶源

B.13.3.2 C.1中规定的离散粒子计数器（DPC），或C.6.1中所述的光度计，具有识别等于

或小于0.5 ?m的粒子的能力。

B.13.4 检测报告

应该按照客户和建造商的协议，按本文件第5条的说明记录下述资料和数据： a) 所用测量仪器的型号及其校准状况； b) 数据采集方法； c) 测量点的位置； d) 占用状态。

附件C 检测仪器

对本部分ISO 14644建议做的检测应该使用的仪器，本附件中做了说明。

本附件的表C.1 ~ C.29中给出的数据是各项仪器必备的最低要求。表中列出的各个项目及其编号与附件B相对应，如编号为C.1的仪器对应于B.1中给出的检测方法。负责制定检测计划的人可参照附件C选择检测仪器，洁净室设施检测项目及检测顺序则可参照附件A的建议。测量仪器应该依客户和建造商协商选择。

本附件是作为资料提供的，如有的话也可采用更好的仪器。可能还有其他合适的仪器，客户和建造商可协商选用。

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（资料）