Copyright International Organization for StandardizationProvided by IHS under license with ISO

No reproduction or networking permitted without license from IHS

国际标准 ISO INTERNATIONAL 14644-3 STANDARD

第一版2005-12-15

洁净室及相关受控环境 —— 第3部分： …..

检测方法

Reference number

ISO 14644-3:2005(E)

36

洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法

目 次

前言 引言 1 范围 2 引用标准 3 术语与定义 3.1 概述

3.2 空气悬浮粒子测量 3.3 空气过滤器与系统 3.4 气流 3.5 静电测量

3.6 测量仪器与测量条件 3.7 占用状态 4 检测方法 4.1 洁净室检测 4.2 原理 5 检测报告

附件A（资料） 各种检测的选择和实施顺序 附件B（资料） 检测方法 附件C（资料） 检测仪器 文献（略）

37

前 言

国际标准化组织（ISO）为全球各国标准化组织（ISO成员）的联合会，国际标准的编写工作由其下的各技术委员会进行。ISO的各个成员组织若对技术委员会的某个课题感兴趣，它就有权参加该技术委员会的工作。国际上凡与ISO保持联系的政府的或是非政府组织，均可参与此项工作。ISO在电气技术标准化的各项事宜中，与国际电气技术委员会（IEC）进行紧密合作。

国际标准草案是按照ISO/IEC指导条例第2部分的法则制定的。

技术委员会的主要任务是制定国际标准。国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。至少需要75%投票的会员团体投赞成票才可将草案作为国际标准颁布。

ISO 14644的这一部分中可能有些内容会涉及到专利权。ISO不对识别任何或全部这类专利权负责。

ISO 14644-3是由洁净室及相关受控环境技术委员会ISO/TC 209编写的。 ISO 14644在洁净室及相关受控环境的总标题下包含下述各部分： —— 第1部分：空气洁净度分级

—— 第2部分：证明一直符合ISO 14644-1的检测和监测技术条件 —— 第3部分：检测方法 —— 第4部分：设计、建造和启动 —— 第5部分：运行

—— 第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境） —— 第8部分：空气分子污染分级 正在编写的部分有： —— 第6部分：词汇

38

引 言

洁净室及相关受控环境须将空气悬浮粒子控制在合适的水平，以完成相关的、对污染敏感的活动。下述行业的产品和工艺均受益于对空气悬浮污染物的控制：航天、微电子、制药、医疗器械、食品和医疗。

本部分ISO 14644说明的检测方法，可用于说明ISO 14644其它部分中所述的洁净室的特性。

注：本部分ISO 14644并未包括所有洁净室参数的检测方法。ISO/TC 209编制的其他文件中讨论了有特定产品或工艺的洁净室和洁净区的其他参数进行检测时所使用的方法和仪器（例如ISO 14698中对活物质的控制和测量方法，ISO 14644-4中的洁净室功能性检测，ISO 14644-7中的隔离装置检测）。此外还可以考虑其他的适用标准。

本部分ISO 14644中的陈述参照了ASTM，CEN，DIN，IEST，JACA，JIS和SEMI等标准。

39