NanoScope Analysis 简易使用方法 一：图像处理功能

1、 flatten，用于平滑图像，使

。若有明显比较高的凸起，flatten会有

用时选择一阶或者二阶方式，单击

黑边，需在图像中选中那块区域以后（依次全部选中）再点

。最终得到效果。

2、 crop and split，用于截取原图中的一部分，使用时选中一定区域

，单击。

3、 Erase，用于擦掉扫描时意外出现的跳线，例如。处理时，

先用中的放大功能把有跳线的区域放大，

，再点，然后在图像中单击跳线的位

置，此时会出现虚线，

线。

二：图像分析功能

，最后单击，就可擦掉跳

1、 section，用于分析高度，使用时在图像上拉一条线，，

在右边会出现section的分析曲线

线拉到要测高度差的两个点上，在

，把两条蓝

上可以读出水平距离以及高度

差。

2、 roughness, 用于分析粗糙度，使用时右边results中的

image Ra/Rq是粗糙度，如果想看图

片局部的粗糙度，则可在左边大图中直接选中一块区域，

单击，然后通过右边的值得到粗糙度。

Ra/Rq

3、 step用于分析台阶高度，在右边曲线两边拉出两对直线，调到同一平面

上，单击调节水平，单击

，然后移动直线，

从曲线下方的可以直接得到台阶的高度。

4、 depth功能类似于step。用于计算沟槽的深度。

5、 3D image ，用于转换得到三维图像。右边的inputs选项中，可以修改

背景颜色background color为白色或者黑色，z轴和xy轴的比例zaxis aspect ratio，图像图像放大调节zoom，label type可选择显示坐标轴，拉动左边图片

，可进行旋转。导出图片单击

三：导出数据

export。

若想导出图像，点，在右边选择导出的时候要显示的项目

，（四个show的选项）把它改成

yes，然后点。

若要导出高度分析的数据，则右击section的那个曲线图，选择export,可以选择导出TXT格式的数据也可以选择导出图片格式。