表1．1工业检测涉及的内容

被测量类型 被测量 热工量 温度、热量、比热容、热流、热分布、压力(压强)、差压、真空度、流量、流速、物位、液位、界面 机械量 直线位移、角位移、速度、加速度、转速、应力、应变、力矩、振动、噪声、质量(重量) 几何量 长度、厚度、角度、直径、间距、形状、平行度、同轴度、粗糙度、硬度、材料缺陷 物体的性质 气体、液体、固体的化学成分、浓度、黏度、湿度、密度、酸碱和成分量 状态量 度、浊度、透明度、颜色 工作机械的运动状态(启停等)、生产设备的异常状态(超温、过载、泄漏、变形、磨损、堵塞、断裂等) 电工量 电压、电流、功率、电阻、阻抗、频率、脉宽、相位、波形、频谱、磁场强度、电场强度、材料的磁性能 显然，在实际工业生产中，需要检测的量远不止以上所举的项目。而且随着自动化、现代化的发展，工业生产将对检测技术提出越来越多的新要求，本教材重点向读者介绍非电量的检测。 1．1．4

检测系统的基本结构

检测系统规模的大小及其复杂程度与被测量的多少、被测量的性质以及被测对象的特性有非常密切的关系。图1．11所示为涵盖各种功能模块的检测系统的结构框图，由传感器、模拟信号调理电路、数字信号分析与处理部分、显示部分以及将处理信号传送给控制器、其他检测系统或上位机系统的通信接口部分等，但并不是所有的检测任务都包括以上几个部分。

传感器是检测系统的第一个环节，设计时要充分考虑被测量和被测对象的特点，在了解被测对象和各种传感器的特性的基础上，根据被测量精度的要求、被测量变化范围、被测对象所处的环境条件、传感器的体积以及整个检测系统的性能要求等限制，合理地选择传感器。它所获得信息的正确与否决定了检测系统的精度。因此，传感器在检测系统中占有重要的位置。 。

信号调理电路是对传感器的输出电信号作进一步的加工和处理，

多数是进行电信号之间的转换，包括对信号的转换、放大、滤波等。通过信号的调理，把传感器输出的电量变成具有一定驱动和传输能力的电压、电流或频率信号等，最终获得便于传输、显示、记录以及作进一步后续处理的信号并推动后级的执行机构。 记录、显示仪器是将所测得的信号变为一种能为人们所理解的形式，以供人们观察和分析。目前常用的显示器有四类：模拟显示、数字显示、图像显示及记录仪等。其中，模拟显示是利用指针对标尺的相对位置来表示读数的，常见的有毫伏表、微安表、模拟光柱等。数字显示多采用发光二极管(LED)和液晶(LCD)等，以数字的形式来显示读数。前者亮度高、耐振动、可适应较宽的温度范围；后者耗电省、集成度高。目前还研制出了带背光板的LCD，便于在夜间观看LCD的内容。图像显示是用CRT或点阵方式来显示读数或被测参数的变化曲线，有时还可用图表或彩色图等形式来反映整个生产线上的多组数据。记录仪主要用来记录被检测对象的动态变化过程，常用的记录仪有笔式记录仪、高速打印机、绘图仪、数字存储示波器、磁带记录仪、无纸记录仪等。

信号分析处理是现代检测系统中不断被注入新内容的一部分，逐渐成为检测系统的研究重点。它是用来对测试所得的实验数据进行处理、运算、逻辑判断、线性变换，对动态测试结果作频谱分析(幅值谱分析、功率谱分析)、相关分析等，完成这些工作必须采用计算机技术。数据处理的结果通常送到显示器和执行机构中去，以显示运算处理的各种数据或控制各种被控对象。在不带数据处理装置的自动检测系统中，显示器和执行机构由信号处理电路直接驱动。所谓执行机构通常是指各种继电器、电磁铁、电磁阀门、电磁调节阀、伺服电动机等，它们在电路中是起通断、控制、调节、保护等作用的电气设备。许多检测系统能输出与被测量有关的电流或电压信号，作为自动控制系统的控制信号，去驱动这些执行机构。

通信接口和总线用来实现由许多测量子系统或测量结点组成的大型检测系统中子系统与上位机之间以及子系统之间的信息交换。总线更多的是指一种规范、一种结构形式；而接口多指完成通信的硬件系统。

1．2传感器概论

1．2．1 传感器的定义

传感器的概念来自“感觉(sensor)”一词。人们为了研究自然现象，仅仅依靠人的五官获取外界信息是远远不够的。于是人们发明了能代替或补充人体五官功能的传感器，工程上也将传感器称为“变换器”。

根据国家标准《传感器通用术语》(GB7665—87)，传感器(Transducer／sensor)的定义为：“能感受(或响应)规定的被测量，并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成”。

由传感器的定义可知，其基本功能是检测信号和信号转换。因此，传感器总是处于测试系统的最前端，用来获取检测信息，其性能将直接影响整个测试系统，对测量精确度起着决定性作用。

1．2．2传感器的组成

传感器一般由敏感元件、转换元件和其他辅助元件组成。但是随着传感器集成技术的发展，传感器的信号调理与转换电路也会安装在传感器的壳体内或者与敏感元件集成在同一芯片之上。因此，信号调理电路以及所需辅助电源都应作为传感器组成的一部分，如图1．12所示。

敏感元件——感受被测量，并输出与被测量成确定关系的其他量的元件，如膜片和波纹管，可以把被测压力变成位移量。若敏感元件能直接输出电量(如热电偶)，就兼为传感元件了。还有一些新型传感器，如压阻式和谐振式压力传感器、差动变压器式位移传感器等，其敏感元件和传感器就是完全融为一体的。

转换元件——又称传感元件，是传感器的重要组成元件。它可以直接感受被测量(一般为非电量)而输出与被测量成确定关系的电量，如热电偶和热敏电阻。传感元件也可以不直接感受被测量，而只感受与被测量成确定关系的其他非电量。例如差动变压器式压力传感器，并不直接感受压力，而只是感受与被测压力成确定关系的衔铁位移量，然后输出电量。一般情况下使用的都是后面这种传感元件。 信号调理与转换电路——能把传感元件输出的电信号转换为便于显示、记录和控制的有用信号的电路。信号调理与转换电路根据传感元件类型的不同有很多种类，常用的电路有电桥、放大器、振荡器和阻抗变换器等。

1．2．3传感器分类

传感器的种类繁多。往往同一种被测量可以用不同类型的传感器来测量，如压力可用电容式、电阻式、光纤式等传感器来进行测量；而同一原理的传感器又可测量多种物理量，如电阻式传感器可以测量位移、温度、压力及加速度等。因此，传感器有许多种分类方法。常用的分类方法有：、 1．按被测量分类

机械量：位移、力、力矩、转矩、速度、加速度、振动、噪声等。 热工量：温度、热量、流量(速)、风速、压力(差)、液位等。 物性参量：浓度、黏度、比重、酸碱度等。

状态参量：裂纹、缺陷、泄漏、磨损、表面质量等。

这种分类方法也就是按用途进行分类，给使用者提供了方便，容易根据测量对象来选择传感器。

2．按测量原理分类

按传感器的工作原理可分为电阻式、电感式、电容式、压电式、光电式、光纤、磁敏式、激光、超声波等传感器。现有传感器的测量原理都是基于物理、化学和生物等各种效应和定律，这种分类方法便于从原理上认识输入与输出之间的变换关系，有利于专业人员从原理、

设计及应用上作归纳性的分析与研究。

3．按信号变换特征分类

结构型：主要是通过传感器结构参量的变化实现信号变换的。例如，电容式传感器依靠极板间距离和位置的变化引起电容量的改变。 物性型：利用敏感元件材料本身物理属性的变化来实现信号变换。例如，水银温度计是利用水银的热胀冷缩现象测量温度，压电式传感器是利用石英晶体的压电效应实现测量等。

4．按能量关系分类 能量转换型：传感器直接由被测对象输入能量使其工作。例如热电偶、光电池等，这种类型的传感器也称为有源传感器。

能量控制型：传感器从外部获得能量使其工作，由被测量的变化控制外部供给能量的变化。例如电阻式、电感式等传感器，这种类型的传感器必须由外部提供激励源(电源等)，因此也称为无源传感器。 表1．2按能量转换型和能量控制型对常用传感器的工作原理进行归纳。 表1．2传感器的工作原理按能量关系分类

除以上分类方法外，还可按照输出信号的形式分为模拟式传感器和数字式传感器，按照测量方式分为接触式传感器和非接触式传感器等。虽然分类方法各不相同，但了解传感器的分类可以加深理解、便于合理选用传感器。本书选用第2种分类方法，这种分类方法有利于对传感器工作原理的阐述和分析研究。

1．3传感器与检测技术的发展动向

现代科技水平的不断发展，为传感与测试技术水平的提高创造了物质条件；反之，拥有高水平的传感与测试技术又会促进新科技成果的不断出现和创新。这两者之间，相辅相成。大致进行归纳，传感与测试技术有以下几个方面的发展。

1．3．1 测量仪器向高精度和多功能方向发展

测量仪器及整个测量系统性能的提高，使测得数据的可信度也相应提高。在产品研制过程中要进行大量实验，测量某些性能参数，然后对新测数据进行统计分析。在相同条件下要实验若干次，新测参数才能具有一定的可信度。仪器精度的提高，可减少实验次数，从而减少实验经费，降低产品成本。在科学技术的进步与社会发展过程中，会不断出现新领域、新事物，需要人们去认识、探索和开拓。为此，