表1 国内外超净高纯电子级氢氟酸产能调研表（2012-7）

序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 2011年6月已进行年产3万吨电子级氢氟酸扩建项目环境影响报告书审批前公示。在现有0.7万吨/年的电子级氢氟酸基础上，再新建2.3万吨/年电子级氢氟酸装置。计划于2011年新建一套1.5万吨/年电子级HF生产装置，配套建设2万吨/年的无水氟化浙江巨化集团凯圣1. 氟化学有限公司凯恒电子材料公司 3 氢装置；2013年新建一套0.8万吨/年UP-S级HF生产装置。2012年初已发布了巨化0.7 1.5 0.8 ● ● ● 自创 股份关于凯圣公司年产6000吨ppt电子级氢氟酸固定资产投资项目的投资公告。项目采用引进技术，包括原料供应系统、HF纯化系统、稀释循环过滤系统、成品过滤系统和成品贮槽系统等内容。项目固定资产投资8300万元，预计2012年10月建成投产。（注：70%的ppt电子级氢氟酸主要用于LED晶圆生产，目前ppt级产品国内基本靠进口。） 浙江蓝苏氟化有限公司由浙江蓝天环保高科技股份有限公司、苏威氟控股(亚太)有限公司合资建立的中外合资企业，注册资金4000万元。公司于2006年11月19日开工建设2万吨/年无水氟化氢项目，2007年9月16日投产。选址在衢州高新技术产业园区华阳路39号。电子级氢氟酸项目引进苏威公司的先进生产技术，总投资3500万元，其中环保投资170万元。公司于2010年4月开工建设，2011年12月投入试运行。产浙江蓝苏氟化有限2. 0.5 公司 ● ● ● 苏威 品用于太阳能行业。苏威Solvay在华氢氟酸企业。根据2012年浙江省工业转型升级财政专项资金项目汇总表（衢州市区）列，项目总投资2838万元，审计后投资额1106万元，2012年正在申请省工业转型升级财政专项资金项目补助资金64万元。项目为年产5000吨电子级氢氟酸项目，可生产UP级、UPS级电子级氢氟酸。现有电子级氢氟酸等级有四级（从低到高分别为AR级、EL级、UP级、UPS级），现国内自有技术为AR级和EL级，蓝苏公司生产的电子级氢氟酸为UP级和UPS级。项目各项配套条件均落实，并已完工投产，质量已达到设计标准。 1 序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 日本Stella在华氢氟酸企业。 备注 浙江瑞星氟化工业3. 有限公司 2003年11月成立（金华市武义县青年胡处工业区），日本森田化学工业株式会社浙江森美化工有限4. 公司 （Morita Chemical）在华氢氟酸企业。无水氟化氢产能15 000吨。并于2004年12月 ● ● ● 取得ISO19001-2000、于2005年1月取得ISO14001认证。2009年2月森田化学半导体级氢氟酸增产设备完成。森田化学还与住友合资在张家港有限公司建有800吨/年的六氟磷酸锂厂。 5. 位于苏州市吴中经济开发区澄湖东路，是一家生产销售微电子业用超纯化学材料和其他精细化工产品的中港合资企业。品种包括氢氟酸、过氧化氢、异丙醇、氨水、硝酸、氟化铵等。目前主要量产品种的纯度为单项金属杂质含量小于1ppb。产品广泛应用于超大规模集成电路和TFT-LCD面板制造过程中的蚀刻与清洗。总体产能2万吨，公司江苏苏州晶瑞化学6. 0.7 0.7 公司 产品包括光刻胶和超净试剂，高纯氢氟酸产能7000多吨，占其利润一半，产品处于中 ● ● ● 苏威 高端水平，在行业中有较好口碑。其产品80%用于太阳能领域，20%用于半导体、TFT-LCD领域。2011年在建1万吨氢氟酸生产线，还计划在苏北建立1条8.3万吨级的生产线，开拓北方市场。UP-S级微电子用高纯度氢氟酸2008年获奖2007年中国半导体创新产品和技术项目。2009年度苏州市科技发展计划各类项目，经专家评审，公告确定了该公司UP-SS级微电子用超纯氢氟酸获得苏州市科技型企业技术创新资金专项项目。 江苏江阴市润玛电7. 0.1 0.1 子材料有限公司 8. 江苏江阴江化微电0.1 0.1

● ● ● ● 总产能约2500吨，产品包括硫酸、氨水、氢氟酸等，产品95%针对太阳能市场，仅5%针对半导体市场，公司总体路线是低价路线。 生产微电子化学品——紫外负性光刻胶及其紫外正、负性光刻胶配套试剂、超净高纯2

序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 试剂、通用化学试剂系列以及其它专用电子化学品5000吨能力，产品类型与晶瑞相似，但技术水平低于晶瑞。 子材料股份有限公司 江苏江阴化学品有9. 限公司 总体产能3000吨，主要产品是CMOS级、MOS级和低颗粒高纯试剂。 即金城试剂厂，还包括金城精细化工厂、精细化工二厂和金城公司昆山分公司等，是 江苏昆山金城试剂10. 有限公司 江苏最大的专业生产化学试剂产品的企业之一。高纯试剂： 包括高纯无机酸类（盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸等）及部分有机溶剂（醇、酮、酯及苯类），纯度为4N、5N（99.99%、99.999%）的金属氧化物（铋、铅、碲、钨、钼、锆）。 江苏苏州旭昌化学11. 科技（昆山）有限公0.8 司 江苏昆山市富乐化12. 工有限公司 0.8 ● 苏州市发展和改革委员会2012-1-30发布新建项目核准的批复，该项目位于昆山市千灯镇精细化工区，其中电子级氢氟酸清洗剂8000吨。 专业生产工业级氢氟酸、电子级、分析纯、超高纯氢氟酸、氟硼酸、氟硼酸亚锡、氟硼酸铅、氟化铵、氟化氢铵等氟化物产品及硝酸、盐酸、硫酸、无水乙醇、氢氧化钠、双氧水、丙酮等。年总产量达到10000多余吨，年产氢氟酸为5000吨、氟硼酸为1000吨、双氧水为800吨硝酸为3000吨，盐酸为1500吨等。氢氟酸产品为试剂级、电子级、mos级。 江苏三美化工股份13. 有限公司 江苏南通2011-07对江苏三美化工有限公司（在如东洋口化学工业园如东）年产6万吨ODS替代品(包括年产1万吨二氟甲烷、1万吨五氟乙烷、1万吨三氟乙烷、2万吨 1 ● ● 四氟乙烷及1万吨五氟丙烷)、5万吨无水氟化氢、1万吨高纯电子级氢氟酸、3万吨偏二氯乙烯、3万吨三氯乙烯、0.5万吨聚偏二氟乙烯树脂；联产19万吨石膏、17万吨盐酸、0.55万吨40%氢氟酸、0.6万吨氟硅酸、0.1万吨四氯乙烯及850吨六氟丙烯项目进行了审批公示。

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序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 最专业的高活性氟化钾设计制造商：南通市明鑫化工有限公司专业生产结晶氟化钾、无水氯化钙。生产氢氟酸、氯化钾、氯化钙、钝化液，同时经营硫酸、硝酸、盐酸、氟化氢铵、氟化氢钾等。 江苏海安南通明鑫14. 化工有限公司 江苏南京苏纯化工15. 科技有限公司 南京苏纯化工科技有限公司是一家领先的超净高纯电子化学品与水处理化学品提供商。其超净高纯-氢氟酸（40%/49%）纯度规格EL级/UP级/UP-S级， 道达尔集团阿科玛Arkema在华氢氟酸企业。1996年6月成立的中国第一家致力于拓销无水氢氟酸及氟利昂替代品的外商投资企业。目前拥有三个项目：分别为生产销售 江苏阿科玛（常熟）16. 氟化工有限公司 HF及F22的氟化工项目，生产共聚酰胺类的热熔胶项目，以及有机过氧化物项目，总投资超过六千万美元。公司于2000年5月正式投产，目前生产无水氢氟酸20000吨、FORANE22达35000吨，并正在为增产建设。 2009-9月下旬，项目破土动工，2010-5月底完成。生产厂房采用钢架结构以及采用普福建邵武永飞化工17. 1.5 0.3 有限公司 1.2 ● ● ● 通优等品AHF为生产原料。9月15日公司顺利完成“15000吨/年高纯超净氢氟酸（电子级氢氟酸）项目”福建省外经贸区域协调发展促进资金的申报工作。供货于日本关东电化。 福建南平市顺昌县埔上镇，无水氟化氢3万吨/年，氟化盐系列产品8千吨/年、氟表面活性剂20吨/年。拟投资6亿以上，开发电子级氢氟酸、电子级双氧水等7个以精细化工产品为主的项目。2010年已环评公示。计划2011年建成投产。超纯电子级氢福建顺昌富宝腾达18. 化工有限公司 1 0.2 0.8 ● 氟酸工艺流程简述：经计量的氢氟酸及电子级纯水进入蒸发器，加热汽化，然后进入精馏塔，塔顶汽体经冷凝器冷凝成超纯氢氟酸，放至超纯氢氟酸贮槽。未冷凝气体再经尾气吸收塔吸收处理。超纯有水氢氟酸的制备：超纯氢氟酸储槽为高浓度超纯氢氟酸，需经稀释到不同要求浓度的超纯有水氢氟酸，稀释用水必须是电子级用纯水，稀释后的超纯有水氢氟酸必须经过严格的质量检测，其阳性金属离子含量，阴性离子含

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序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 量，尘粒直径及颗粒数，需用先进的分析仪器，作超痕量检测，合格后在洁净环境下进行包装（1万级洁净区）。电子级纯水制备：原水经初级物理性去杂质过滤，再经RO逆渗透膜去除阴阳离子，得到初级纯水，再经最先进的EDI膜去除痕量的阴阳离子，得到电子级纯水。 公司成立于2004年，是一家外商独资企业，公司总占地面积约240亩，拥有员工超过400多人，其中技术人员100余名。下属有邵武华新化工有限公司、厦门美迪化工有限公司、光泽美迪化工有限公司、邵武华孚新材料发展有限公司四家公司。公司生产基地地处福建北部，有丰富而优质的萤石资源，成立以来致力于氟化工系列产品的研发和生产销售。目前已建成无水氟化氢4.5万砘、氟化氢铵（氟化铵）10000吨、干法氟化铝3万吨、氟碳表面活性剂系列80吨、优级纯氢氟酸6000吨的生产线。2011年福建邵武华新化工19. 有限公司 5月电子氢氟酸项目环评，厂址定在金塘氟化学分公司现有厂区内邵武金塘工业园区。1 1 ● ● 扩建1套10000 t/a超纯电子级氢氟酸生产线和1套电子级纯水制备装置，新增一座成品仓库及罐区。主要生产工艺：（1）纯净水制备工艺：原水经初级物理性去杂质过滤，再经RO逆渗透膜去除阴阳离子，得到初级纯水，再经最先进的EDI膜去除痕量的阴阳离子，得到电子级纯水。（2）高纯氢氟酸制备工艺：氢氟酸与电子级纯水进入蒸发器加热气化后，以蒸汽形式进入精馏塔，釜底主要为少量的残渣；塔顶生成为低沸点的HF，经过冷凝后部分回流到精馏塔内，部分做为产品，保存到成品储罐内。冷凝器内少量的HF气体挥发到尾气吸收塔，用电子级水吸收生成高纯有水氢氟酸，再少量的HF气体经过二级水吸收和碱液吸收生产氟化钙石膏。建设期2011-2012年。 福建省建阳山水化20. 工有限公司 公司主要化工产品有：工业氢氟酸、无水氟化氢、化学试剂氢氟酸、电子级氢氟酸、 氟化氢铵、氟化铵、氟硼酸、氟硅酸、氟硼酸钠、氟硅酸钾、氟化氢钾、氟硅酸钠、氟硼酸钾、氟化钠等，公司主要矿产品有：酸级萤石精粉、冶金级萤块矿、粒矿、萤

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序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 石烘干粉等。 备注 2011-2-2-11河南省环境保护厅对锂离子电池用电解液及六氟磷酸锂、电池级氟化锂、电子级氢氟酸项目环境影响报告书进行了批复[豫环审〔2011〕35号]。多氟多拟投资河南多氟多化工股21. 0.5 份有限公司 0.5 ● ● 3.44亿元实施2万吨锂离子电池用电解液及2000吨六氟磷酸锂、400吨电池级氟化锂、5000吨电子级氢氟酸的新建项目。计划2012-2013年首先一期建设2500吨/年电子级氢氟酸线，产能预测2000吨/2012年，2500吨/2013年，4500/2014年，5000吨/2015年。 即原焦作市氟化盐厂，又名焦作市晟铝氟化盐有限责任公司。公司于2006年改制为股河南焦作市氟源化22. 0.4 工有限公司 份制企业，为使公司快速发展先后建成年产冰晶石10000吨，氟化铝30000吨，氢氟 0.4 ● 酸24000吨的先进生产线。电子氢氟酸项目于2012年2月焦作市企业投资项目备案（豫焦沁北工[2012]00003），总投资9609.2万元。2011年8月16日，在沁北产业集聚区签曙年产4千吨电子氢氟酸项目入驻。 年产5万吨无水氢氟酸，河南省企业投资项目备案情况已公示。建设地点：博爱县柏山镇焦克路北。总投资：10000万元。计划建设起止年限：2011-6～2012-12。年产5河南焦作市增氟科23. 技有限公司 万吨无水氢氟酸，共两条生产线（单条2.5万吨），分二期建设，一期2.5万吨工程计划2012年5月完工，二期计划2012年底完工投产。采用国内先进技术，以硫酸、萤石为原料，通过反应炉加热-吸收-冷凝-精馏的工艺进行生产，主要装备有反应炉、冷冻机、吸收塔、冷却器等。产品用于清洗不锈钢、氟化盐行业、玻璃行业等。 河南焦作市冰晶科24. 技公司 年产3万吨氢氟酸项目，目前已投资3000万元，开始生产。 1.2万吨/年项目2009年11月环评首次公示。宣城市环保局2011-9-8再次公示，选址变更在亨元化工科技有限公司预留场地内进行建设。2011年5月可研评审宣州通过。安徽宣城（鹰鹏）亨25. 2.4 泰化工科技有限公

1.2 1.2 ● ● ● 6

序号 司 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 投资１.４亿元，项目采用工业无水氟化氢为原料，经过氧化、蒸馏、分离等工艺过程生产电子级氢氟酸产品。第一期已建成了电子级氢氟酸生产线，年产电子级氢氟酸1.2万吨，各项指标均已达到设计水平。拥有二套年产6000吨高纯电子级氢氟酸生产装置。产品技术指标已达到单个金属离子含量≤1ppb，具有自主研发的知识产权优势。一期工程预计九月份就能建成，预计一期工程6000吨电子级氢氟酸，2012年7月正在招聘员工。鹰鹏集团公司拥有年产能12万吨工业无水氟化氢生产线，确保电子级氢氟酸和工业氢氟酸原料优质稳定供应。 中国华星氟化学投资集团有限公司（以下简称中氟公司）全资子公司。成立于2011年3月31日，注册资本5000万元人民币，注册地为江西省赣州开发区。2011-10-10公司对年产5万吨无水氟化氢、年产2万吨氟化氢铵、年产5000吨电子级氢氟酸建设项目环境信息进行了公告。项目环评报告于2012年3月16日通过市环保局审批（赣市环审字【2012】36号。项目建设地点：赣州开发区香港工业园北区。5000t/a电子级江西赣州华星氟材26. 0.5 料有限公司 0.5 ● 氢氟酸项目2011年6月核准批复。项目主要建设内容及规模：新建电子级氢氟酸车间、原料综合仓库、成品仓库、变配电间、冷冻空压站、锅炉房、循环水池、消防池、事故池、污水处理系统、办公楼、研发楼、倒班宿舍、食堂、门卫及道路、绿化等配套设施，总建筑面积25780m2；购置预处理槽、精馏塔、吸收塔、蒸馏塔、冷凝器、自动包装机等设备；形成年产5000吨电子级氢氟酸的生产能力。总投资12000万元，其中固定资产投资8000万元，流动资金4000万元。项目装置工艺系统招标于已2012年6月5日开标。 江西英腾化工有限27. 公司 年产4万吨高纯无水氢氟酸。2008年底建成投产，产品50%出口。江西英腾化工有限公司是英国英力士集团氟化工有限公司和浙江星腾公司共同投资建立的，公司总投资3.2亿人民币，主要从事绿色制冷剂、含氟高分子材料、含氟精细化学品的生产、经营

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序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 与研究开发。该公司将为英力士在日本Mirara的工厂提供原材料，同时也将为星腾化工有限公司位于金华的工厂提供生产氟化物所需的原材料。英国英力士Ineos在华氢氟酸企业。英力士氟化工业务已转墨西哥化学。 总投资5.5亿元人民币的5万t/a无水氢氟酸装置于10月29日在庐山区姑塘化纤基地开动建设。大唐氟化工项目是江西省与日本大金株式会社合作的项目。日本大金株式会社在世界500强企业中列280位，主要从事特种产品制冷制热、半导体、液压机械、江西大唐化学有限28. 公司 电子及微米级特殊机械生产加工、氟化工等现代制造业。由日本大金株式会社和中萤集团联合投资的大唐氟化工项目2006年12月签约，目前启动的一期工程将新建5条年产1万吨氢氟酸生产线，2009年1月一期工程将试车投产。项目全部建成后，可年产5万吨无水氢氟酸，年产值可达7.35亿元，年纳税4000万元。日本大金Daikin在华氢氟酸企业。 江西中氟化工有限29. 公司 江西中氟化工有限公司是中美合资企业，位于江西省玉山县，该县境内及周边地区蕴藏有丰富的莹石资源，为氟化工的生产提供了充裕的基础原料。有2万吨/年氢氟酸生产线二条合4万吨/年。 天津科密欧精化学30. 试剂开发中心 是天津市化学试剂标准化成员单位，天津市首批科技型中小企业，2011年国家科技部科研用试剂研发第三大任务的牵头单位。目前公司生产卡尔费休、对照品、标准品、色谱纯（含离子对试剂）、高纯MOS级、电子纯、低浓残检测、环保、基准、特效、分析纯、优级纯、标准溶液、消毒剂、药用辅料、等15个系列，3000多个品种。 天津市光复精细化31. 工研究所 ● 电子纯氟化氢溶液40%（50%）。规格/包装单位：MOS/500ml。 北京兴青红精细化32. 0.02 学品科技有限公司

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序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 ● 备注 是中国超净试剂研究的发源地，完成了MOS级、BV-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ级超净试剂的研究和生产，并与上海华谊一起主导的国家863计划ULSI用超净高纯试剂研究。量是近年来在技术上没有太大的突破，目前主要生产MOS级超净高纯试剂。 北京化学试剂研究33. 所 山东东营耐尔科技34. 有限公司 ● ● 东营耐尔科技有限公司是一家中外合作的高新技术公司，研发生产高纯材料，特别是应用于电子工业的高纯材料，为集成电路、平板显示器 、光伏电池、制药、化工、科研等行业提供各种特种气体、湿化学品以及特种气体包装输送柜等产品及服务。产品有超纯Ⅰ（EL）、Ⅱ级（UP）。 Formosa Daikin ● ● ● 日本大金Daikin在华氢氟酸企业。台塑大金精密化學股份有限公司成立於1999年12月，2002年03月正式量產，結合台塑公司在氟化學工業多年的管理經驗以及日本大金工業的先進精密技術，生產半導體用濕式蝕刻劑，目前年產電子級氫氟酸16,700噸、氟化銨5,200噸、緩衝級氫氟酸1,800噸。地址：(105)台北市敦化北路201號後棟10樓445室；電話：(02)27122211分機：7404；傳真：(02)27129281；E-mail：fdac-tp@fpg.com.tw。 IC、TFT級產品：IC半導體與TFT-LCD光電產業用之清洗劑與蝕刻液 Advanced Chemicals 35. Co., Ltd. （台湾台塑1.67 1.67 大金精密化学股份有限公司） T.N.C. Industrial Co., 36. Ltd.（台湾台硝集團） ● ● ● 49%氫氟酸；EL級產品：4~5”晶圓與FPD光電產業用之清洗劑與蝕刻液49%氫氟酸。電子化學品:連絡人 盛副理；電話 886-3-3247569；傳真 886-3-3246696；E-Mail sams@tnc.com.tw；桃園廠地址 桃園縣蘆竹鄉坑口村3鄰29-25號。 Taiwan Fertilizer 投资兴建之TFT-LCD用电子级化学品工厂已于2001年5月正式开工量产，第一阶段生产剥离液、洗净液，并于2003年4月完成第一阶段扩建工程提高产能，以应市场之需，未来尚计划扩建增加蚀刻液及单质酸硷液等产品。 台积公司成立于1987年，是全球首创专业积体电路制造服务的公司。台积公司的全球总部位于台湾新竹科学园区，在北美、欧洲、日本、中国大陆、南韩、印度等地均设37. Co., Ltd.（台湾肥料有限公司） Tai-Young High Tech 38. Corp. (Division of

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序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 有子公司或办事处，提供全球客户实时的业务和技术服务。台积公司是纯粹的 IC 制造(代工)公司，受客户委托制造IC芯片， 台积公司本身并无自有产品可销售 Wah Lee Industrial Corp.) （台湾台湾积体电路制造股份有限公司） Worldwide Chemical 39. Co., Ltd. （台湾） 1998年鑒於原料導向考量(浙江為全世界氟石主要產地)，於中國浙江永康市投資一億新台幣，成立浙江僑朋化工有限公司，生產無水氟化氫銨(二氟化銨)及各種無機氟化物鹽類，為全亞洲唯一乾式二氟化銨製造廠，年產能5000 MT。2002年鑒於電子級氫Sunlit Fluo & ● ● 氟酸市場需求大幅成長，決定投入電子級氫氟酸製程研究開發。在台湾桃園縣觀音鄉觀音工業區的侨力化工有限公司生產工業級氫氟酸 (Hydrofluoric Acid)，49%電子級氫氟酸，氟硼酸 (Fluoboric Acid)，氟硼酸錫 (Stannous Fluoborate)，氟硼酸鉛 (Lead Fluoborate)，食品藥品級氟化鈉 (Sodium Fluoride USP)，工業級氟化鈉 (Sodium Fluoride General Grade)，工業級氟氫化鈉 (Sodium Bifluoride)，氯化鋰 (Lithium Chloride)，溴化鋰 (Lithium Bromide)。2003年電子級氫氟酸正式量產，年產能500 MT。僑力化工通過DNV ISO 9001:2000認證。2004年生產設備投資及流程精進，氟化鈉（NaF）及電子級氫氟酸(49% HF)生產線產能提昇。 Chemical Co., Ltd. 40. 0.1 0.1 （台湾侨力化工股份有限公司） DERIVADOS DEL 1 ● ● FLUOR（Minerales 41. Productos Derivados 1 (Minersa)）（西班牙美耐莎集团）

主要用户有中央玻璃和其他公司，主要产品有AHF、电子/太阳能/硅片级氢氟酸、有水氢氟酸及氟化铝和其他多品种产品。有自己萤石矿。有欧洲其产能最大，AHF为6.5万吨，占欧洲的四分之一，高纯氢氟酸0.75～1万吨，电子级/太阳能级/硅片级产品，浓度40%-50%-60%，有水氢氟酸1.5万吨，氟化铝2万吨等。 10

序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 Stella Chemifa株式會社創業於1916年，總部設在日本大阪，為一家化工製造商，公Stella Chemifa 42. 2 Corporation（日本） 司產品包括電子化工材料(氟化物、蝕刻代理、洗滌劑、電解質)、醫療產品和農業化2 ● ● ● 學製品等。公司並為世界最大的高純度氫氟酸生產商。新加坡独资分公司（STELLA CHEMIFA SINGAPORE PTE LTD），生产地点在裕廊岛，产品包括高纯氢氟酸和缓冲氢氟酸。 Kanto Corporation43. 0.2 0.2 （美国） ● ● ● 关东公司生产工厂在美国俄勒冈州的波特兰。 Mallinckrodt Baker 公司始成立于1995年，为实验室、生物制药、微电子和工业市场提供品牌的高纯度产品。1995年 Mallinckrodt 收购 J.T.Baker后成立 Mallinckrodt Baker, Inc（MBI），2000年 Tyco（泰科集团）收购Mallinckrodt Baker，2005年 Tyco Avantor Performance Materials (原名44. Mallinckrodt Baker )（美国） ● ● ● Healthcare（泰科医疗）变更为Covidien公司，MBI成为Covidien公司的一部分，2010年 Mallinckrodt Baker成为New Mountain Capital（新山资本）的一员。MBI总部位于Phillipsburg, New JerseyI，拥有在高纯化学品领域享誉全球的两大知名品牌——J.T.Baker®和Mallinckrodt®，MBI的产品广泛应用于科研研究及质量控制(QC)实验室，微电子行业，环境监测实验室，高校，以及制药行业，生物科技等其他行业。2009年度，MBI的销售额达到4.14亿美元。J.T.Baker（杰帝贝柯）化工产品贸易（上海）有限公司（JTBs）于2009年正式成立，作为美国MallinckrodtBaker Inc的全资子公司。 Air Products & 45. 0.1 0.1 Chemicals（美国） 46. Honeywell Specialty 0.2 0.2

空气化工产品公司也是中国最大的工业气体产品公司之一，通过提供一系列高质量的 气体产品包括普通空气气体产品如氧气、氮气和氩气，到特种气体如氦气、氢气和电子特气等，以及各种化学品。 ● ● ● 霍尼韦尔公司总部在美国新泽西州，电子氢氟酸主要在德国的Geismar、美国的路易11

序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 斯安那Louisianal（美国南部的一个州）、加拿大安大略省阿莫斯伯格（Amherstburg, Ontario）生产制造。 Chemicals（德、美国） LANXESS 47. 0.1 0.1 Deutschland GmbH（德国朗盛公司） 美国霍尼韦尔公司与日本三菱化学公司在湿电子化学品业务领域建立全球性合作伙伴关系，近几年以中国和印度为重点，积极发展电子化学品业务，其在亚太地区电子化48. 德国巴斯夫公司 学品业务的年销售额以20％的速度增长；2005年4月，巴斯夫公司收购了德国默克公司全球电子化学品业务，此次收购包括在中国、马来西亚、新加坡等地的生产基地和分销中心。 德国苏威公司成立于1863年。德国苏威氟化物公司(Solvay Fluor GmbH)是苏威集团旗下氟化学品生产和销售的专业公司。该公司从事氟化学品的生产和销售超过七十年。Solvay Fluor GmbH49. 0.1 0.1 （德国） 目前其无机氟化学品产销量位居世界第一，有机氟化学品位居世界第二位。德国苏威氟化物有限公司的主要产品有：1、有机氟化学品，如Solkane系列制冷剂，发泡剂和溶剂；2、无机氟化学品，如NOCOLOK钎剂等；3、CF3/CF2系列特殊氟化学品，如三氟乙酸等。 Elektrkimyosanoat 50. OJSC（乌兹别克斯0.1 0.1 坦） Arkema France S.A. (Formerly Atofina) 0.1 0.1 阿科玛是一家全球领先的化学品生产企业，由两个关系密切且平衡发展的业务部门组成：工业化学品和特殊化学品，全球总部位于法国。2006年5月12日阿科玛成为一

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序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 家独立的化学品公司（由道达尔集团资产重组），在40多个国家拥有84个生产基地和9家研发中心，全球拥有13,200名员工，年销售额达59亿欧元。自1984年在中国开展业务以来，阿科玛大中国在其众多领域占据领先地位，目前在中国各地拥有七处工业生产基地。 2010年英国英力士集团将品业务卖给了该墨西哥化学公司的子公司氟化学公司，交易完成后墨西哥化学公司成为全球最大萤石供应商和第二大氢氟酸生产商。墨西哥化学花费3.5亿美元，得到了英力士氟化学公司在北美、欧洲和亚洲的生产基地、销售网阿科玛公司法国公司(原阿托菲纳) 墨西哥化学公司子公司氟化学公司 0.3 0.3 络以及客户群在内的全部业务。2011年5月9日，墨西哥化学发布消息称，公司计划在未来12个月在日本和韩国投资1.5亿美元用于生产制冷剂和氢氟酸等。墨西哥化学表示，此举是为了消除这些产品供应对中国的依赖，充分利用垂直整合和物流的优势，增强墨西哥化学在亚洲的影响力。 国内外高纯氢氟酸产能大于18.49万吨/年。其中 国外大于4.2万吨/年。其中中国大陆高纯氢氟酸产能大于12.52万吨/年，包括已建大于2.72万吨/年，在建约5.2万吨/年，拟建约5.1万吨/年。其中中国台湾地区大于1.77万吨/年。

高纯工业品氢氟酸是微电子技术加工制作过程中不可缺少的关键性化学品之一，主要用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀，是上述各行业制作过程中的关键性基础化工材料之一。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有十分重要的影响。它基于微电子技术发展而发展，同时又制约微电子技术发展。近年来，全球电子化学品市场需求增长速度很快，近两年保持10%以上的增速，因此高纯工业品氢氟酸的发展前景十分广阔。我国电子化学品产业通过近几年技术改造和结构调整，已经具备一定基础，氢氟酸在国内已有几家大型企业在生产，产品级别主要是UP级、EL级和UP-S级，产品主要出口美国、德国、日本和台湾等地。对几个生产企业的产品质量进行调查，发现产品质量存在很大差别，良莠不齐的产品质量和价格的恶性竞争严重影响了该产品的发展，因此当前急需制定高纯工业品氢氟酸国家标准，根据电子行业用户的实际要求确定适宜的质量要求。新标准的出台对推动企业技术创新，规范产品质量，指导企业生产和促进出口具有十分重要的意义。国内目前未有统一的电子氢氟酸标准。巨化集团公司正在（2011-2012）建议制订《高纯工业品氢氟酸》行业标准，范围和主要技术内容包括：规定了高纯工业品氢氟酸的分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、标签、包装、运

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输、贮存和安全。适用于高纯工业品氢氟酸。该产品主要用于电子行业的清洗和腐蚀。国内外情况简要说明：1. 国外已生产多年，且技术成熟，品质较高。我国首套生产线在2009年7月建成，目前国内有一定生产规模的企业有5家左右。产品质量基本达到UP级和EL级，最高能达到UP-S级，产品已得到国际市场的认可，目前出口美国、德国、日本和台湾等地。该标准涉及产品的品质很高，因此大部分分析项目以仪器检验为主，目前国内的一些生产企业已采用先进的仪器分析，达到国外的分析技术水平。2. 目前查阅到的国外标准有国际半导体协会标准：SEMI C1.8－1990《氢氟酸标准》，SEMI C7.3－1990《二级氢氟酸标准》，SEMI C7.4－1990《49％二级氢氟酸标准》。本标准与以上标准的采用程度为修改采用。3. 目前国内没有相关标准。4. 未涉及知识产权问题。

在2010年7月举行的Intersolar North America上，SEMI光伏标准委员会通过了八项光伏新标准，其中有PV11-1110——氢氟酸规范/光伏应用。2012年度全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)会议，国家光伏质检中心将参与《光伏电池用电子级氢氟酸》等国家标准的编写。

国际SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）标准化组织根据高纯试剂在世界范围内的实际发展情况，按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准，其中包括多个用于不同工艺技术的等级，具体见下表2。

表2 SEMI国际标准等级

SEMI标准 金属杂质 控制粒径/μm 颗粒，个/mL 适应范围 C1 (Grade1) ≤1ppm ≥1.0 C7 (Grade2) ≤10 ppb ≥0.5 C8 (Grade3) ≤1 ppb ≥0.5 C12 (Grade4) ≤0.1 ppb ≤0.2 (Grade5) ≤0.01 ppb / C11(VLSI Grade) ≤50 ppb ≥0.5 ≤25 ≤25 ≤5 / / ≤250 适用于＞1.2μm IC适用于0.8-1.2μmIC技适用于0.2-0.6μm IC技适用于0.09-0.2μmIC技适用于＜0.09μmIC适用于0.8-1.2μmIC技技术的制作 术的制作 术的制作 术的制作 技术的制作 术的制作 国内有的高纯试剂生产企业拥有自己的企业标准，其中，BV 系列标准比较常见，该标准共分为七个等级。如：北京化学试剂用的就是BV系列标准，具体见下表3。

表3 国内高纯试剂常用规格

品级

尘埃粒径 尘埃粒子数 各金属杂质含量（非金属杂质含量） 适用于半导体IC 14

低尘埃 5～10μm ＞2700个/100ml MOS级 ≥5μm ≤2700个/100ml BV—Ⅰ级 ≥2μm ≤300个/100ml BV—Ⅱ级 ≥2μm ≤200个/100ml BV—Ⅲ级 ≥0.5μm BV—Ⅳ级 ≥0.5μm BV—Ⅴ级 ≥0.2μm ≤25个/ml ≤5个/ml TBD —— ≤500ppb（<1ppb） 1～ｎ×10ppb 1～ｎ×10ppb ≤10ppb ≤1ppb ≤0.1ppb ≥5C ≥3μm(适合中小规模集成电路5μm技术用) ＞2μm(属于标准电子级)（相当于ELSS级） ≥1.2μm(属于标准电子级EL级) （相当于ELSSs级） 0.8～1.2μm(相当于SEMI-C7)(属于超大规模集成电路级VLSI或ULSI级) 0.2～0.6μm 0.09～0.2μm 目前，因各微电子生产企业对高纯氢氟酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：①低档产品，用于>1.2μmIC工艺技术的制作；②中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；③中高档产品，适用于0.2～0.6μmIC工艺技术的制作；④高档产品，适用于0.09～0.2μm和＜0.09μm IC工艺技术的制作。

产品等级一般分为4个档次。目前国内能够生产SEMI C1~7级（包括MOS级及BV-Ⅰ~Ⅲ级）高纯氟化氢的企业近10家，而能生产SEMI C8~12级（大致相当于高于BV-Ⅲ级的产品）的极少。

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