针对集成电路芯片制造业清洁生产评价指标体系和集成电路封装业清洁生产评价指标体系，以上所有清洁生产评价指标权重分值之和应为1，即??Kij?1。

i?1j?1nm（2）综合评价指标的计算 ① 综合评价指数计算

综合评价指标是通过加权平均求和的方法计算得出的，如公式（1）和公式（2）所示。其中，公式（1）是对总体综合评价指标考核总分值P的计算，公式（2）是进一步分解到各类指标考核总分值Pi的计算。

P??Pii?1n………………………………（1）

Pi??Pij??Sij?Kij/100……………………（2）

j?1j?1mmP—综合评价指标考核总分值； n—参与评价考核的指标类别数； Pi—第i个指标类别的考核总分值；

m—第i个指标类别下参与考核的指标项总数； Pij—第i个指标类别下第j项指标项的加权得分；

Kij—第i个指标类别下第j项指标项的权重值，所有评价指标项的权重值之和为1，即

??Ki?1j?1nmij?1；

Sij—第i个指标类别下第j项指标项的考核分值。 ② 指标无量纲化处理

不同清洁生产评价指标由于量纲不同，不能直接比较，需要建立

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原始指标的隶属函数。本标准分别针对定量评价指标和定性评价指标给出了无量纲处理的计算方法。

针对定量评价指标，本标准对正向指标和逆向指标的考核分值给出了不同的计算方法，如公式（3）-（8）所示。

对应一级定量评价正向指标（Xij?Xij）：

IminSij?100……………………………（3）

对应二级定量评价正向指标（Xij?Xij?Xij）：

ⅡⅡminmaxSij?80?20(Xij?Xij)/(Xij?Xij)………………（4）

ⅡⅡⅡmaxⅢminmaxmin对应三级定量评价正向指标（Xij?Xij）：

Sij?60?20(Xij?Xij)/(Xij?Xij)………………（5）

ⅢⅢⅢmaxIminmaxmin对应一级定量评价逆向指标（Xij?Xij）：

Sij?100……………………………（6）

对应二级定量评价逆向指标（Xij?Xij?Xij）：

ⅡⅡminmaxSij?80?20(Xij?Xij)/(Xij?Xij)………………（7）

ⅡⅡⅡminⅢmaxmaxmin对应三级定量评价逆向指标（Xij?Xij）：

Sij?60?20(Xij?Xij)/(Xij?Xij)……………..（8）

ⅢⅢⅢmaxmaxmin式中：

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Xij为第i个指标类别下第j项定量评价指标项的实际值，Xij、Xij、

IminⅢmaxImaxⅡmaxⅢⅡminminXij分别为Xij在一、二、三级所在区间的下限值，Xij、Xij、Xij分别

为Xij在一、二、三级所在区间的上限值。此外，当定量评价指标不能达到三级水平时，其考核分值为0。

对于定性评价指标，定性评价指标项的单项考核分值应根据实际情况确定，对照评价指标体系表中考核分值的得分标准确定。当定性评价指标项为一级水平时，考核分值为100；当定性评价指标项为二级水平时，考核分值为80；当定性评价指标项为三级水平时，考核分值为60；当定性评价指标项不能达到三级水平时，其考核分值为0。

③ 缺项权重修正

在实际评价工作中，企业提供的指标数值可能存在缺项情况，本标准给出了在指标项缺项的情况下修正各指标权重值的方法，如公式（9）、（10）所示。

??Kij?Ai……………………………（9） Kij其中，Ai按式（10）计算：

Ai?K1……………………………（10） K2式中：

?—第i个指标类别下指标项缺项时，其下第j项指标项修正后的Kij权重值；

Kij—第i个指标类别下第j项指标项的权重值；

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Ai—第i个指标类别下指标项缺项考核时，其下各指标项相应权

重值的修正系数。

K1—第i个指标类别的权重值；

K2—第i个指标类别下指标项缺项考核时，实际参与考核的各指

标项权重值之和。

④ 清洁生产等级确定

本评价指标体系将企业清洁生产水平划分为三级，即清洁生产领先水平企业、清洁生产先进水平企业、清洁生产一般水平企业。企业清洁生产等级确定的依据包括清洁生产综合评价指数以及限定性指标满足要求的情况。

指标体系中“表3 集成电路制造清洁生产等级与企业综合评价指标值”体现了企业清洁生产等级应满足的条件。其中，当企业清洁生产综合评价指数≥90，且限定性指标全部达到一级水平时，该企业清洁生产等级达到一级，为清洁生产领先水平企业；当企业清洁生产综合评价指数≥80，且限定性指标全部达到二级水平时，该企业清洁生产等级达到二级，为清洁生产先进水平企业；当企业清洁生产综合评价指数≥70，且限定性指标全部达到三级水平时，该企业清洁生产等级达到三级，为清洁生产一般水平企业。

6.6指标解释与数据采集

本部分给出关键指标的具体定义、计算公式以及数据的采集方法。下面针对关键指标、名词进一步解释。

（1）结合集成电路制造业实际，“综合能耗”统计范围包括生产用电量、新鲜水量、蒸汽、天然气及芯片制造用大宗气体等。

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