后重点发展的8大高精尖产业之一，为促进软件产业和集成电路产业的新发展，北京市政府于2014年2月8日制定出台了《北京市进一步促进软件产业和集成电路产业发展的若干政策》（京政发 [2014] 6号），重点支持特色工艺芯片制造生产线和高端集成电封装测试生产线等集成电路产业重大投资项目。

（2）集成电路制造业能源消耗量大、污染物种类繁多。集成电路芯片制造的单位产值能耗、水耗要远高于电子信息行业的平均水平，甚至高于北京市工业的平均水平。在生产过程中还会产生各种污染物，如超纯水清洗芯片、去光刻胶及蚀刻等程序所排出的废液，封装过程中切割、电镀、浸锡、清洗等环节产生的废水等；而且芯片制造及封装等制程中要用到各种化学物质，从而产生大量酸碱废气、有机溶剂逸散蒸汽、特殊毒性及燃烧性气体。同时，生产过程会使用一些有毒有害物质，如清洗剂，如不加以管控，容易对环境造成污染，对人体健康构成危害。

（3）高端化、低碳化、绿色化是首都产业发展的必然选择。“十二五”以来，北京市以年均1.75%能耗增长支撑了年均7.7%的经济增长，万元GDP能耗仅为0.32tce，在全国省级地区最低。根据国家生态文明建设意见和对北京城市功能定位，“十三五”时期北京市将继续强化能源消费总量、新水总量和污染物排放总量控制。为此北京市工业确定了全面推行绿色清洁生产，打造高精尖经济结构的战略部署。集成电路产业作为保留并鼓励发展的高精尖产业之一，清洁高效发展成为必然选择。在市政府发布的《北京市推进节能低碳和循环经济标准化工作实施方案（2015—2022年）》（京政办发 [2015] 47号）中，本标准被列为工业领域节能低碳与循环经济标准化工作的重点之一。

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（4）国内外缺乏集成电路制造业清洁生产评价标准。目前国内外还没有针对集成电路制造业的清洁生产技术规范、评估评价标准。国家发改委正在组织《电子器件（半导体芯片）清洁生产评价指标体系》研究，但内容和指标远不能满足北京市集成电路产业发展的需要，环保部正在就《电子工业污染物排放标准》征求意见，该标准是针对电子工业制定的污染物排放标准，是强制性国标，仅有部分内容涉及集成电路制造业。国内外集成电路清洁生产标准的缺乏导致部分集成电路企业在开展清洁生产审核工作时，只能参考《电镀行业清洁生产评价指标体系》，由于该标准是针对电镀行业专用标准，标准的适用性较差，不能满足集成电路企业清洁生产审核要求。

因此，有必要根据北京市集成电路产业定位和节能环保要求，制定地方性集成电路清洁生产标准，用于引导集成电路芯片制造和集成电路封装测试企业关注资源节约和污染物减排，并为企业清洁生产审核、潜力挖掘与机会判断提供评价判据。

4 主要起草过程

本标准起草的技术路线图如图4-1所示。

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行业企业概况标准立项产业链集成电路行业国际集成电路制造业生产概况技术工艺国内基础研究集成电路制造业生产工艺清洁生产状况北京市能源与水消耗及产排污分析政策法规标准草案成立标准编制组集成电路芯片制造企业企业开展调研专家国内外集成电路行业相关能源环境标准国家标准标准北京市地方标准其它地区地方标准集成电路芯片制造企业企业数据集成电路封装企业选取指标集成电路封装企业资料数据收集分析初步确定指标指标比对初步确定基准值组织标准研讨会调整基准值指标验证确立最终指标及基准值完善征求意见稿

图4-1 标准起草技术路线图

（1）基础研究和草案编制。2016年1月至6月，课题组开展了集成电路制造行业生产概况、生产工艺、能源与水消耗及产排污等方

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面大量的基础研究工作，针对国际、国内和北京市在集成电路制造业方面的基本情况、产业链、技术工艺、清洁生产状况以及相关政策法规进行深入研究，分析出建立集成电路制造业清洁生产评价指标体系的必要性和可行性，确立集成电路芯片制造业和集成电路封装业为标准的适用主体，形成了基本思路，并进一步完成草案编制工作，初步确定了标准框架与内容。

（2）成立标准编制组。2016年8月12日，中国航空综合技术研究所组织召开编制组成立会议，广泛邀请北京市集成电路芯片制造企业和集成电路封装企业，成立《清洁生产评价指标体系 集成电路制造业》标准编制组。会议主要确定了本标准编制组其它成员单位，对标准的编制工作进行了分工，明确了各编制组成员的主要任务。

（3）企业调研和专家调研。针对北京市集成电路芯片制造与集成电路封装企业开展调研工作，包括中芯国际、中芯北方、燕东微电子、航天微电子等集成电路芯片制造企业；威讯联合、瑞萨半导体、首钢微电子、华芯微半导体、飞宇微电子等封装测试企业，深入了解企业的生产工艺、环境保护、能源使用、清洁生产、现行环境标准等方面情况，并对企业的有关数据、资料进行收集和归纳，进一步确立了指标体系涵盖的指标内容。此外，编制组调研了中科院微电子所、中国电子工程设计院、国家工业水处理工程技术研究中心、中国机械工业联合会、北京微电子技术研究所、北京市半导体协会、北京市环保局等单位的技术、管理专家，从集成电路制造、清洁生产、工业水处理、工业污染物排放管理等方面，获取宝贵的专业技术指导。

（4）指标比对。收集国内外集成电路制造企业产能、能源、环

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