② 低真空室：玻璃在该室被快速送入低真空室，关闭门阀。由真空泵抽真空至

10-2毫巴。

③ 高真空传送室：在高真空传送室中，玻璃板的传送方式由间歇模式转换为连续模式，玻璃板一片一片连续进入镀膜室。以最大限度提高产量，并使溅射材料得到充分利用。

3、镀膜

① 第一工艺室：根据膜层的要求，选择不同的靶材和工艺气体，玻璃在第一工

艺室被镀上第一层介质膜。

② 第二工艺室：玻璃在第二工艺室被镀上起低辐射作用的功能膜和保护膜。 ③ 第三工艺室：被镀上第二层介质膜。

④ 第四工艺室：玻璃在第四工艺室被镀上起低辐射作用的第二层功能膜和保护

膜。

⑤ 第五工艺室：被镀上外层保护膜。

4、出片准备

① 高真空传送室：玻璃镀膜后由镀膜工艺室快速运至出口准备室。

② 出口准备室：出口准备室的压强在10-2毫巴至大气压间波动。当出口准备室

放入大气后，玻璃被快速输送至出口传送辊道。

5、光学质量检验

玻璃镀膜后由光谱光度计在线测量其透射率与反射率。 6、卸片、包装、入库

镀膜后的玻璃由机械或人工卸片，根据检验结果分类包装入库。

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第四部分：项目投资估算

★ 估算内容

本项目总投资8500万元。其中新增建设投资（含土地、设备、厂房及配套设备投资）8000万元，配套流动资金500万元。

投资估算表

单位：万元人民币

项 目 项目总投资 土地 建筑及配套设备 LOW-E镀膜线 合计金额 8500 480 1420 6100 备 注 按占地面积400002 厂房550万 １４

流动资金 500

配套设备投资估算表

单位：万元人民币

名 称 纯水系统 空压机 循环水系统（含冷冻机） 行车及轨道 成套钢化设备 玻璃前处理设备 成套中空设备 备品备件及工具 配电房 金 额 合 计 ★ 编制依据

1、建筑工程

本项目主要建筑是厂房及办公用房，参照当地同等建筑标准造价，并考虑部分工作量（钢结构、门窗等）由公司自行建造以节约投资的具体特点估算。

2、设备购置及安装工程

本项目部分设备购买进口设备，其他设备选用国产通用设备，价格选用生产厂家近期的设备出厂价，非标准设备价格参照非标设备制造厂家同类设备费用计算，安装费结合项目装备水平，套用同类工程技术经济指标进行计算。

★ 当前国内、外同类产品和技术对比分析

目前，国内用Low-E镀膜的设备主要依靠引进，出口国主要为法国的两家企业。国内用于Low-E镀膜的生产线约为18条。

在进口生产线的运行中，同样存在些工艺问题和适应性问题，主要表现在：

１５

1、腔室设计刚性不够导致变形影响真空实现；

2、国外的气候及生产环境优于国内，导致生产线在国内运行膜层沉积质量降低； 3、侧装式阴极结构严重影响设备维修效益和腔室模块化设计；

4、旋转阴极的高昂价格影响中频溅射技术的推广，增加设备维护成本；

5、进口设备的高昂成本增加了国内使用单位的负担，影响了Low-E玻璃的推广使用。

公司在研发和国产化过程中有针对性进行工作，解决了一系列的问题，对成熟部分进行国产化，对国内尚不具备条件的重要部件进行引进，下表为公司产品与进口、国产设备的主要参数比较。

北玻镀膜线主要性能比较表

指 标 玻璃厚度（㎜） 最大规格（㎜） 节拍（s） 设计产量 颜色均匀性 旋转阴极 在线光学检测 国内设备 5－12 1500×2000 120 50万㎡ E≤3 否 否 国外设备 3—19 2540×3660 45 280万㎡ E≤2 是 是 北玻设备 3—19 2540×3660 60 200万㎡ △E≤2 是 是 １６