Wuxi CSMC-HJ Semiconductor Co., Ltd.

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4) 整体移动波形时，波峰一定要调整到屏幕上显示的竖线处 5) 两个波形内部要重合，不能交叉

3. NV-6200a/av灯丝电流调节：

当束流不在菜单规范内，调节灯丝电流后，需要待灯丝电流的实际值与设定值一致并且稳定后才能开始工艺产品片；严禁在作片过程中调整灯丝电流，也不要在灯丝电流还没有稳定就开始作片。 4. NV6200a/av AMU调节：

1) 引束过程中，灯丝电流、arc电压、工艺气体流量、能量等参数都设置好后，需要调整AMU直到

束流为最大值； 2) 如果束流最大时，AMU实际值在理论值±0.2范围内，则可以工艺产品片；如果束流最大时AMU

实际值超出该范围，请找工艺人员处理；

3) 在每次更换菜单，重新引束时均需要调节AMU. 5. GSD固体Sb引束：

1) 转Sb前，如果工艺As时灯丝电流小于100A，请不要安排转Sb工艺（可能在转源过程中灯丝就

断）；如果有紧急Lot必须转Sb，需要联系工艺或设备人员；

2) 转Sb前，请作好当天QC预测，是否需要提前安排AsQC，不要出现因为需要安排日常QC而先

转As，然后马上转回Sb的情况；

批注：以上注意点请作业长或班长务必把握好，生产紧急时，可能提前或延后2小时转Sb或者提前安排AsQC均会对生产调配和设备产出有比较大的影响

3) 转Sb过程中，坩埚升温前，引好Ar束流500uA以上，然后设定坩埚温度300℃左右待其稳定，

然后依次设置坩埚温度350℃、400℃、450℃，分别等待至坩埚实际温度稳定，在此坩埚升温过

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程中设备务必引着Ar束流500uA以上；

4) 引着Ar束流，设定坩埚温度480℃左右，稳定10分钟左右，重新设置AMU至121，确认是否能

引出Sb束流；如果能引出，试图减小Ar流量，Sb束流没有明显减小则可以关闭Ar；如果引不出，则升高坩埚温度10℃左右，稳定几分钟，再确认，次类推； 5) 坩埚温度设置完毕后，引Sb和引气体源过程相当；

6) 引Sb时，如果坩埚升到550℃左右还引不到规范，请找设备或者工艺人员处理。 6. GSD引BF2束流：

在GSD引BF2时，如果arc current设置大于3.0A, 则禁止作业，找工艺人员处理；