氣體種類Gas TypeCH2F2CH3FCOC4F6氧化性易燃性vvvv危害性毒性vvvv腐蝕性窒息性CVDPVD使用區域DIFFIMPETCHvvvvPHOTO
四．B．G使用区域：
CDA： T/F PHOTO DIFF ETCH CMP IMP GN2； T/F DIFF ETCH CMP IMP LAB PN2： T/F PHOTO DIFF ETCH CMP IMP
HPCDA： PHOTO
五．S．G适用机台及制程：
气体种类 5%H2/HE F2/KR/NE KR/NE 适用机台及制程 AMT ENDURA-SEED LAYER(CU)(SPUTTER) SCANNER AR/H2/O2 CO2 AMT ENDURA-SPUTTER NOVELLUS VECTOR-CU；DNS FC3000 WET BENCH-ST CLEAN、B CLEAN；DNS SCRUBBER-WAFER SCRUBBER、WAFER RECYCLE H2/CL2/HBR KE (Z-III)-START OXIDE；TEL ALPHA 3031-GATE OXIDE、PAD/SAC SIH4/WF6 OXIDE；AMAT ECP(CU)-CU ECP；NOVELLUS ALTUS-W PLUG DEP；AMT RTP-RTA(IMP) HE/SF6/NF3 AMT PRODUCER-NOSI、PESN(COSIX、CU)、BD(CU)、BP TEOS、PE CF4/SF6/HCL TEOS、PEOX；AMT RTP-RTA(CVD)、RTA(IMP)；AMT ENDURA-METAL SPUTTER(CVD/TIN)；TEL ALPHA 3031-LP TEOS N2O PH3/HE DCS AMT PRODUCER；AMT RTP；TEL ALPHA 3031-LP NITRIDE、GATE OXIDE；NOVELLUS VECTOR-SIC(CU)、FSG(CU) NO/SIH4 CL2 TEL ALPHA 3031-GATE OXIDE O2/DCS/NF3 KE Z(III)-FLOW/REFLOW、POLY CURING、PAD/SAC OXIDE、START HBR OXIDE；TEL ALPHA 3031-GATE OXIDE；DNS FC3000-B CLEAN、STD CLEAN；NOVELLUS VECTOR-PEFSG、FSG(CU)、SIC(CU)、PEOX/PESN；AMT RTP-RTA(IMP)
现场配管施工
一、概说：
1、Hook up配管的范围：
1-1、Bulk gas：由Take off valve至机台点。 1-2、Specialty gas：由VMB/P各stick出口端至机
台点。
1-3、Hook up配管常用的材料： 1-4、
1-5、tube and fitting：一般常用尺寸为：1/4〞、
3/8〞、1/2〞、3/4〞，常用材质为：AP、BA、EP。
1-6、DP盘（distribution panel）：一般常用尺寸为：
1/4〞、3/8〞1/2〞、3/4〞；组合阀件常见有：手动阀、调压阀（regulator）；接头形式有：VCR、swagelok、welding。
2、确定机台需求：设计人员依业主提供之机台需求单，包
含机台名称、位置、气体需求数据、气源点（take off valve及VMB/P）编号，绘制草图。
3、核对现场及机台：
3-1、将legend图与现场状况核对，如气源点、管
路路径、上洞点、盘面、门型架、地板开孔及附属机台位置等。
3-2、待机台定位后，需再确认上述2-1项、机台位
置、门型架高度，及机台上各接点气体名称、接头尺寸、点数等（※在某些设备工程师为新进人员或机台为首次使用的情况下，经常无法提供完整的机台需求）。
4、讨论事项：管路在气源点与机台间是否安装盘面、相同
气体之各接点（或pump）是否共享盘面、盘面高度及如何固定等问题，均需与业主事前充分讨论，以免完
工后再次修改。
5、确认legend图及layout图：将定稿之legend图及layout
图，交业主审核无误（或修改）后，再交工程人员备料施工。
6、绘制竣工图：现场完工后，设计人员需再次核对legend
图及layout图与现场状况是否相符，修正后绘制竣工图一份送交业主、一份存查。
7、 HOOK UP 配管施工
8、确认legend图：自设计人员处取得legend图，至现场
确认图内各项资料是否相符，如气源点、管路路径、上洞点等。
9、备料：依legend图计算所需材料，备妥待用。
9-1、施工：
9-2、规划管路排列顺序：依各气源点与机台的相关
位置、盘面位置、配管路径及机台接点等，排列管路顺序（能绘制立体图者尤佳）。 9-3、安装盘面：在指定的高架地板下，依管路排列
顺序，将相同气体的盘面集中摆设。
9-4、安装门型架：将指定的高架地板，依需求尺寸
开孔后，安装门型架。