GAS TypeCl2SiH2Cl2SiH4WF6 for example: smic fab2 SPECIFICATION CYLINDER SIZEAUTOFIREPRVHC-22HP-FHP-NiAFLASEFSL/CDPSDPGSPLI.TEMP.UV/IREMOESV SWITCH DAMPER 47 LYNYNNYYYYYYYYYOptionY 47 LYNYNNYYYYYYYYYOptionY 47 LYNYNNYNYYYYYYYOptionY YNYNNYYYYYYYYYOptionY 47 L 安全功能 : Shut Boy 钢瓶阀 , UV/IR 火焰侦测器 , Sprinker 洒水头 ,

EMO 紧急停气按钮 , DPS/DPG 泄漏侦测

器……

GC FLOW SHEET DRAWING

SMOKE EMSOZ-PURGE DPS 2YYYYYYYY

● VMB/VMP 的设计：

VMB内气体种类配置的设计基本上有两种方式：一种以供应机台为主，另一种以气体种类进行分类，前者较少用也比较不好，虽然它有空间上的优点，但不相容气体装于同一个箱子内万一泄漏或人员误动作极有可能激烈反应严重甚至爆炸，相对侦测器的点数会增加，造成成本的负担，未来扩充性也较差，后者的设计是目前最普遍采用的方式，虽然无法集中，操作可能比较不方便，但气体侦测点少，安全性高，VMB设计及操作容易，扩充性佳。

基本上VMB与气瓶柜的设计是大同小异的，只要气瓶柜有的功能在VMB亦可以做，但由于经费的问题一般功能不会做那么好，以手动为主加一个气动阀可做紧急遮断用。一般VMB不常会去操作或动到所以发生泄漏的机率比较低，设计一般以节省成本为主。

VMB一般是以业主实际上的需求来设计2、3、4、5或其他点数的数目，同时供应数台机台，亦可加调压阀做二次调压让压力更加的稳定，设定上下警报讯号做更有效的供应控制。

* Function & Future:

1.2 sticks ~ 10sticks Process Lines –for customer 2.依操作方式可分为 “ 自动” 及“手动”

3.With 1 Pn2 purge line and 1 vacuum line来洁净管路及相关阀件 ( vacuum line 可省略而经由机台pump来抽气) 4.依制程需求可再次调压

5.Main line 扩充阀 / Stick扩充阀 , 视需求可供未来扩充 6.VMB之电控箱藉由GIS集中控制,并与厂务中控系统衔接

*VMB/VMP 之 Safety :

1.Process Line 供气状况经 PLC (option)与中控系统连线,如有紧急状况可自动切断气源

2.所有阀件接点及焊道均在箱内,可经由 Damper 抽风功能来减少气体外漏之危险

3．VMB for Flammable or Pyrophoric gases has UV Detector (option)

4.Local Shut Down Button (for VMB) 5.防爆钢丝玻璃

6.配置门锁以防不当操作

2.3 二次配管（SPII / Hookup） ·1 SCOPE

为由Take off Valve 或 VMB/VMP开始至生产机台设备处为止（Hookup） ·2Hookup 配管之设计：

1、 类型：

1) 草图：依业主提供之基本资料（厂务需求单，机台、VMB/P、TAKE-OFF、LAYOUT图面等），简单绘制之图面。

2) 施工图：依据草图协调Hookup事宜，经确认无误后绘制而成。发至现场施工小组，即可依图施工。

3) 竣工图：施工完毕，现场负责人会将现场施工图面收回。依现场施工修正之施工图，绘制竣工图。

2、 工作程序及方法：

1) 先期工作：

以建立所需之BLOCK为主。对绘图而言，底图是重要且必需的参考依

据，同时也希望业主能够提供。至于如何做分区、界定，则与客户厂 务工程师协调后，再进行底图之分割及最后之图档管理。

2) 工作进行中：

a) 以业主提供之Hookup图面及资料，进行统合及绘制草图的工作。原则上草图的统合，是由现场负责人负责－包括资料汇整、位置及水、气、化、电的点数确认，手绘草图的工作等等。再与设计人员进行实际的电脑绘图工作。

b) 电脑绘图完成之草图，经现场负责人确认后，交予客户相关之设备及厂务工程师。协调相关之厂商负责人及客户相关之设备或厂务工程师，至现场实际套图。为求图面准确性高，则希望业主提供做为参考之图面及资料能愈详细愈好，以做为最后确认草图的重要依据。

若业主提供的图面及资料有修改时，立即进行修改以利完成工作任务。

c) 协调、修改后经业主相关设备或厂务工程师确认之图面，即为施工图，可发至现场施工。

3) 后期工作：

a) 现场施工小组依图面施工，施工路径与施工图有异时，施工小组将在图面上作修正。完工后，依现场施工小组修正之图面，绘制竣工图。

b) 现场负责人与设计人员依竣工图至现场核对，修正后完成竣工图面。

Hookup工程，人员及设备之需求视现场实际需要而调配。例如人员工作量之负荷，是否进驻现场，上下班情况等等，皆须配合业主之要求及预定Schedule之时程。一切以正确完成工作为原则。

客户所需提供之图面及资料（以下为参考资料，实际需求以工程为主） 一、图面：

1、 客户厂区LAYOUT（最好各楼层皆有） 2、 GAS：TAKE-OFF，DP，VMB/P LAYOUT 3、 CHEMICAL：TEE-BOX，V-BOX LAYOUT 4、 WATER DP LAYOUT 5、 EXHAUST LAYOUT

6、 ELECTRIC POWER DISTRIBUTION LAYOUT

二、DATA：

1、 EQUIPMENT DETAIL LIST（机台设备详细资料） （1）I.D NUMBER （2）TOOL NUMBER

（3）INLET POINT，SIZE，FLOW，PRESSURE 2、 各机台使用之 BULK GAS TAKE-OFF 点 3、 各机台使用之 VMB/P 三．S．G气体使用区域：

氣體種類Gas Type氧化性NF3vCl2 HBrSiF4F2/Kr/Ne F2/Ar/Ne C5F8BCl3NOvWF6易燃性危害性毒性vvvvvvvvvv腐蝕性窒息性CVDvPVDv使用區域DIFFIMPvvv vvvETCHvvvPHOTOvvvvvvv