PO2 (Oxygen)：

利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0﹪以上纯度之氧，再除去N2、Ar、CnHm。另外可由水电解方式解离H2 ＆ O2，产品液化后易于运送储存。

PAr (Argon)：

利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0﹪以上纯度之氩气，因氩气在空气中含量仅0.93﹪，生产成本相对较高。

PH2 (Hydrogen)：

利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0﹪以上纯度之氢气。另外可由水电解方式解离H2 ＆ O2，制程廉价但危险性高易触发爆炸，液化后易于运送储存。

PHe (Helium)：

由稀有富含氦气之天然气中提炼，其主要产地为美国及俄罗斯。利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，易由分溜获得。 Helium=-268.9℃，Methane=-161.4℃。

2．大宗气体在半导体厂的用途： CDA：

CDA主要供给FAB内气动设备动力气源及吹净(purge)，Local Scrubber助燃。IA主要供给厂务系统气动设备动力气源及吹净。

N2：

主要供给部分气动设备气源或供给吹净、稀释、惰性气体环境及化学品输送压力来源。

O2：

供给ETCH制程氧化剂所需及CPCVD制程中供给氧化制程用，供给O3 Generator所需之氧气供应及其它制程所需。

Ar：

供给Sputter制程，离子溅镀热传导介质，Chamber稀释及惰性气体环境。

H2：

供给炉管设备燃烧造成湿氧环境，POLY制程中做H2 BAKE之用，W-PLUG制程中作为WF6之还原反应气体及其它制程所需。

He：

供给化学品输送压力介质及制程芯片冷却。

3.BULK GAS 的供应系统

Methods: GAS Produced TYPE on-site CDA N2 O2 Ar H2 He - O O - O - Storage tank - O O O - - Container - - - - O O Trailer - - - - O O Bundle - - - - O O Compressor O - - - - - Bulk Gas Supply System before Fab

Bulk Gas Supply System in Fab

大宗气体(BULK GAS)虽然不像特殊气体(SPECIALITY GAS)，有的具有强烈的毒性、腐蚀性。但是我们使用大宗气体时，仍然要注意安全。GN2、PN2、PAr、PHe具有窒息性的危险，这些气体无臭、无色、无味，如大量泄出而相对致空气中含氧量（一般为21﹪）减少至16﹪以下时，即有头痛与恶心现象。当氧气含量少至10﹪时，将使人陷入意识不清状态，6﹪以下瞬间昏倒，无法呼吸，6分钟以内即死亡。PH2因泄漏或混入时，其本身之浓度只要在H2之爆炸范围(4%－75%)内（如对空气），只要一有火源，此气体乃会因相混而燃烧。PO2会使物质易于氧化产生燃烧，造成火灾的不幸事件。因此，身在半导体工厂工作的我们，在设计上、施工中，如何避免泄漏、如何防患，则是我们努力的工作之一。

1.2 特殊气体特性及系统简介

半导体厂所使用的特殊气体种类繁多，约有四五十种，依危险性可区分为以下数类：

* 易燃性气体 Flammable Gas * 毒性气体 Toxic Gas

* 腐蚀性气体 Corrosive Gas * 低压性/保温气体 Heat Gas

* 惰性气体 Inert Gas

1. 特殊气体特性简介

* 易燃性气体 : 燃点低, 一泄漏与其他气体相混,便易引起爆炸及燃烧 如 SIH4 , PH3 , H2 ,…. * 毒性气体 : 反应性极强,强烈危害人体功能 , 如 CO, NO,CLF3,….

* 腐蚀性气体 : 易与水份起反应而产生酸性物质,有刺鼻,腐蚀,破坏人体的危险性

如 NH3, SIF4,CL2,….* 低压性/保温气体 : 属粘稠性液态气体,需包 加热线 及 保温棉 ,将管内的温度升高以使其气化,才能充分供应气体 , 如 WF6, BCL3 , DCS,….* 惰性气体 : 又称窒息性气体 , 当泄漏

出的量使空气中含氧量减少至16%~6%以下时,便会影响人体,甚至死亡 , 如 SF6 , C4F8 , N2O , ….

2. 供应系统简介* GC （Gas Cabinet） 气瓶柜

*GR （Gas Rack） 气瓶架

* BSGS System （Bulk Sepcial gas supply system）特殊气体大

量供应系统

* Y-Cylinder , Bundle 集束钢瓶

* Trailer 槽车

* VDB 主阀箱 / VDP 主阀盘 （Valve Distribution Box/Panel） * VMB 阀箱 / VMP 阀盘 (Valve Manifold Box/Panel)

Specialty Gas Supply System

Specialty Gas Supply System- Equipment in every floor