投影离子的分布区域
21
硅衬底中离子的投影射程
硅中掺杂离子的投影射程
22
掺杂离子所需阻挡层厚度
200 keV掺杂离子所需的阻挡层厚度
23
通道效应
离子以合适的注入角度进入通道，只需有很少的能量就可以行进很长的距离
24