半导体制造技术导论（第二版）第八章离子注入工艺
白雪飞
中国科学技术大学电子科学与技术系
提纲
?简介
?离子注入技术简介?离子注入技术硬件设备?离子注入工艺过程?安全性
?离子注入技术发展趋势
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简介
集成电路制造工艺流程
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