2,色差是由于成像电子的波长(能量)不同而引起的。一个物点散射的具有不同波长的电子,进入透镜磁场后将沿各自的轨道运动,结果不能聚焦在一个像点上,而分别交在一定的轴向范围内,形成最小色差弥散圆斑,半径为 rc=Cc α|△E/E|
Cc为透镜色差系数,α为透镜孔径半角,△E/E为成像电子束能量变化率。所以减小△E/E、α 可减小色差。
3,像散是由于透镜磁场不是理想的旋对称磁场而引起的。可减小孔径半角来减少像散。
50. 聚光镜、物镜、中间镜和投影镜各自具有什么功能和特点? 答:
聚光镜: 聚光镜用来会聚电子抢射出的电子束,以最小的损失照明样品,调节照明强度、孔径角和束斑大小。一般都采用双聚光系统,第一聚光系统是强励磁透镜,束斑缩小率为10-15倍左右,将电子枪第一交叉口束斑缩小为φ1--5μm;而第二聚光镜是弱励磁透镜,适焦时放大倍数为2倍左右。结果在样品平面上可获得φ2—10μm的照明电子束斑。
物镜: 物镜是用来形成第一幅高分辨率电子显微图象或电子衍射花样的透镜。投射电子显微镜分辨率的高低主要取决于物镜。因为物镜的任何缺陷都将被成相系统中的其他透镜进一步放大。物镜是一个强励磁短焦距的透镜(f=1--3mm),它的放大倍数高,一般为100-300倍。目前,高质量的物镜其分辨率可达0.1 mm左右。
中间镜: 中间镜是一个弱励磁的长焦距变倍率透镜,可在0-20倍范围调节。当放大倍数大于1时,用来进一步放大物镜像;当放大倍数小于1时,用来缩小物镜像。在电镜操作过程中,主要利用中间镜的可变倍率来控制电镜的总放大倍数。如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合,则在荧光屏上得到一幅放大像,这就是电子显微镜中的成像操作;如果把中间镜的物平面和物镜的背焦面重合,在在荧光屏上得到一幅电子衍射花样,这就是电子显微镜中的电子衍射操作。
投影镜: 投影镜的作用是把中间镜放大(或缩小)的像(或电子衍射花样)进一步放大,并投影到荧光屏上,它和物镜一样,是一个短聚焦的强磁透镜。投影的励磁电流是固定的,因为成像的电子束进入透镜时孔径角很小,因此它的景深和焦长都非常大。即使改变中间竟的放大倍数,是显微镜的总放大倍数有很大的变化,也不会影响图象的
清晰度。
51. 影响电磁透镜景深和焦长的主要因素是什么?景深和焦长对透射电子显微镜的成像
和设计有何影响?
答:(1)把透镜物平面允许的轴向偏差定义为透镜的景深,影响它的因素有电磁透镜分辨率、孔径半角,电磁透镜孔径半角越小,景深越大,如果允许较差的像分辨率(取决于样品),那么透镜的景深就更大了;把透镜像平面允许的轴向偏差定义为透镜的焦长,影响它的因素有分辨率、像点所张的孔径半角、透镜放大倍数,当电磁透镜放大倍数和分辨率一定时,透镜焦长随孔径半角的减小而增大。
(2)透射电子显微镜的成像系统由物镜、中间镜和投影镜组成。物镜的作用是形成样品的第一次放大镜,电子显微镜的分辨率是由一次像来决定的,物镜是一个强励磁短焦距的透镜,它的放大倍数较高。中间镜是一个弱透镜,其焦距很长,放大倍数可通过调节励磁电流来改变,在电镜操作过程中,主要是利用中间镜的可变倍率来控制电镜的放大倍数。投影镜的作用是把中间镜放大(或缩小)的像进一步放大,并投影到荧光屏上,它和物镜一样,是一个短焦距的强磁电镜。而磁透镜的焦距可以通过线圈中所通过的电流大小来改变,因此它的焦距可任意调节。用磁透镜成像时,可以在保持物距不变的情况下,改变焦距和像距来满足成像条件,也可以保持像距不变,改变焦距和物距来满足成像条件。
在用电子显微镜进行图象分析时,物镜和样品之间的距离总是固定不变的,因此改变物镜放大倍数进行成像时,主要是改变物镜的焦距和像距来满足条件;中间镜像平面和投影镜物平面之间距离可近似地认为固定不变,因此若要荧光屏上得到一张清晰的放大像必须使中间镜的物平面正好和物镜的像平面重合,即通过改变中间镜的励磁电流,使其焦距变化,与此同时,中间镜的物距也随之变化。
大的景深和焦长不仅使透射电镜成像方便,而且电镜设计荧光屏和相机位置非常方便。
52. 消像散器的作用和原理是什么?
答:消像散器的作用就是用来消除像散的。其原理就利用外加的磁场把固有的椭圆