12. 完成浮现按 完成 。

13. 教导刀痕完成按 是 即完成。

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刀痕检查(Kerf)名称:

Alignment Center:自动对位后于切割道中心位置 Cut center:切割刀痕中心位置

Chipping Area:意指Top或Bottom Chipping 区域 Dy:意指刀痕与自动对位后于切割道中心位置之偏差 Top Chipping:意指Wmax最高点与Wmin最高点之距离

Bottom Chipping: 意指Wmax最低点与Wmin最低点之距离

Center-to-Max Chipping: 意指切割道中心位置与Wmax最高点之距离以此

类推

Wmax:刀痕最大宽度 Wmin:刀痕最小宽度

Bottom

TOP

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芯片程序参数:

Category 目录 Air Air Align Parameter 参数 Description 描述 Stop Air After Air Puff Unload Air Puff 工作物退出时，选择是否在吹气计时完后停止吹气 工作物退出时，切割盘吹气时间。 Align-Cut Sequence 教 导切割顺序:Align . Align Cut. Cut: 将所有角度对位完成后再行切割 Align. Cut Align. Cut: 第一个角度对位完成后即切割，而后再对第二个角度，再行切割 Align Align Align Align Align Align Align Align Angles Difference Tolerance Index Tolerance Initial Focus-Shift Initial X-Shift Initial Y-Shift Maximum NO. of Iterations Recover Option X.Y.θ轴最大容许角度偏移误差读值 自动对位点时跳格最大容许角度偏移误差读值 芯片自动对焦后差异补偿值 芯片自动对位后X轴差异补偿值 芯片自动对位后Y轴差异补偿值 Low Model Enabled 第二个角度是否使用低的辨识点教导 若找不到自动对位点时，重新搜寻次数 若找不到自动对位点时 Manual:等待使用者手动移至对位点处 Reject: 放弃对位 Align Align Blade Blade Blade Blade Cut Depth Comp Cut Depth Comp Cut Depth Comp Cut Depth Comp Cut Depth Comp Cut

Settling Time Verification After Change Treatment Max Wear Rate 角度对位前设定吹气时间保持芯片干燥 使用2个模块去检查对位的准确度 换新刀后执行磨耗刀片 Override: 磨耗刀片 Dressing:研磨刀片 刀具最大容许的消耗量 Min Exposure Left 容许切割之最小刀刃露出量 Min Exposure Warn 机器警告之容许切割之最小刀刃露出量 Delta Activate Min Cut Depth Max Cut width Min Cut width Cut Entry Speed 47

是否启动切割深度补偿 Blade Angle Factor 降低Z轴高度 最小容许切割深度 最大容许切割宽度 最小容许切割宽度 X轴进刀之速度, 可小于or 等于X轴之切割速 Cut Cut Cut Cut Exit Speed Cutting Speed Optimized Order X轴收刀时之速度 X轴实际切割时之速度 切割顺序(角度) Yes: A0, A90, C90, C0 No: A0, A90, C0, C90 Cut Cut Cut Cut Verify Cut Verify Cut Verify Cut Verify Cut Verify Cut Verify Limit Cut Verify Limit Cut Verify Limit Cut Verify Limit Height Height Over cut Over travel Spindle Speed (KRPM) Activate First Cut No. Last Cut No. Model Type Rate Head1 X-Shift Head1 Y-Shift Manual Head1 X-Shift Manual Head1 Y-Shift 定义进刀速度之起始点 APC: 由下刀位置算起之起始切割点 GPC: 由Wafer之边缘算起 转轴之速度 是否启动自动修正下刀点 起始处下刀点修正 结束处下刀点修正 自动修正下刀位置时使用之辨识点 下刀点修正之次数 自动下刀点修正时, X方向最大容许修正量 自动下刀点修正时, Y方向最大容许修正量 手动下刀点修正时, X方向最大容许修正量 手动下刀点修正时, Y方向最大容许修正量 Height Check Units 测高之衡量单位 选项: Length(长度) No. of Cuts(刀数) Height Type 达到测高衡量单位作测高型式: Regular:切割中途执行测高 Defer: 切割完后执行测高 Height Kerf Check Kerf Check Kerf Check Kerf Check Kerf Check Height Check Rate 测高之频率 Active Area Auto Y offset Correction Kerf Check Algorithm Max. Failures per Cut 48

是否启动刀痕检查 刀痕检查的百分比(区域) 是否启动自动补偿刀痕校正 刀痕检查的算法 Standard:标准 刀痕检查失败最大允许的数量